Verniciatore compatto a evaporazione termica con controllo di precisione della temperatura - GSL-1700X-SPC2

• Camera al quarzo da 6" OD x 10" H per facilitare la pulizia e il caricamento del campione
• Portacampioni rotante da 2" di diametro per un rivestimento uniforme della pellicola
• Riscaldatore a bobina in tungsteno e crogiolo in allumina per un rivestimento ad alta temperatura fino a 1700 ºC
• Controllo di precisione della temperatura con 30 segmenti programmabili e accuratezza di +/- 1 ºC
• L'alto vuoto può essere raggiunto fino a 1,0E-5 Torr tramite una turbopompa opzionale
• La porta di flusso del gas e la valvola sono integrate per lo spurgo della camera e la possibilità di CVD

• Tensione di ingresso: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, monofase
• Potenza in ingresso: 500 W
• Potenza di uscita: 40 A di corrente massima. Corrente di lavoro consigliata <20 A
• Cavo di alimentazione incluso senza spina
• L'alimentazione a 110VAC è disponibile con un trasformatore da 750W ( fare clic sulla sottolineatura per ordinare )

• Sul fondo della camera da vuoto è incorporato un riscaldatore a bobina di tungsteno con termocoppia di tipo B e crogiolo di allumina. (Fig. 1)
• Un regolatore di temperatura digitale con 30 segmenti programmabili e una precisione di +/- 1 ºC (Fig. 2).
• Si consiglia di limitare la velocità di riscaldamento/raffreddamento a 0,3 ºC/s al di sotto dei 1200 ºC e a 0,15 ºC/s da 1200 a 1700 ºC.
• Per i rivestimenti veloci fino a 2000 °C, come quelli in carbonio, Au e Cu, l'utente può rimuovere la termocoppia, il blocco termico in allumina e il crogiolo in allumina e caricare il materiale di evaporazione direttamente nel riscaldatore a bobina di tungsteno. (PIC.3)
• Nota: a causa della rimozione della termocoppia, le letture della temperatura, l'allarme di alta temperatura e l'avanzamento del riscaldamento non sono disponibili. Gli operatori devono usare gli occhi per valutare la temperatura in base al cambiamento di colore del filamento di riscaldamento.
• Dopo aver impostato tutte le fasi, controllare manualmente l'interruttore Amp(mA) in base al misuratore di corrente di evaporazione (PIC.4).
• Sono inclusi quattro crogioli di allumina (fino a 1700 ºC) e due riscaldatori a bobina di tungsteno. Per ordinare le parti di ricambio, consultare la sezione Optional.
•   PIC 1 PIC 2  PIC 3 PIC 4 

• Sulla flangia superiore sono installati uno stadio campione rotante da 50 mm di diametro e un otturatore.
• Velocità di rotazione: 5 rpm
• La distanza tra il supporto del campione e la sorgente di evaporazione è regolabile da 40 mm a 85 mm.
• Per favore fare clic qui per sapere come regolare la posizione dello stadio campione.

• Sensore di spessore al quarzo di precisione è opzionale, fare clic sulle immagini 1 e 2 per i dettagli. Può essere incorporato nella camera per fornire un monitoraggio istantaneo dello spessore del film con una precisione di 0,10 Å. L'unità di visualizzazione a LED all'esterno della camera può:
• Immettere informazioni sul materiale di rivestimento in base al database incluso
• Visualizzare lo spessore totale del rivestimento e la velocità di rivestimento
• Precisione Sistemi di analisi dei film sottili e dei rivestimenti - EQ-TFMS-LD è disponibile con un costo aggiuntivo, fare clic sulla figura 2. 

• La porta per il vuoto del KF25 è installata per il collegamento a una pompa per il vuoto.
• Il vuoto massimo può raggiungere <4,0E-6 Torr pompando durante la notte con la pompa turbomolecolare opzionale.
• Per il rivestimento è necessaria una pompa da vuoto. Scegliere tra le seguenti opzioni di prodotto
• Calibro a membrana capacitivo anticorrosivo è incluso per il vuoto fino a 1,0E-6 Torr Pic.1
• Una pompa per vuoto è opzionale. Fare clic su Pic. 2 o 3 per ordinare Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio (10-2 torr) o turbopompa ( 10-5 torr)
• Pic. 1  Fig. 2  Figura 3 3

• Il raccordo per tubo da 1/4 è integrato per lo spurgo della camera o per il trattamento del gas di formatura.
• Una valvola a spillo è incorporata per controllare la portata del gas

• Extra crogiolo di allumina e riscaldatore a bobina di tungsteno possono essere ordinati presso MTI con un sovrapprezzo. (Fare clic sulle immagini sottostanti). Il crogiolo e la barca in W rivestiti in allumina sono disponibili su richiesta (vedi foto in basso a destra).
• È possibile utilizzare un totale di 4 crogioli con sorgenti evaporanti per depositare più materiali diversi per la crescita di multistrati uno per uno nella stessa atmosfera della camera.
•                 (opzionale)

• Diametro esterno: 165 mm
• Diametro interno: 150 mm
• Lunghezza: 250 mm
• Fare clic qui per ordinare il ricambio della camera al quarzo.

• Certificato CE
• La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta

• Per ottenere l'alto vuoto richiesto per l'evaporazione di alcuni materiali, l'utente può
• Controllare che la camera, l'O-ring e la flangia non presentino particelle, fibre o graffi. Utilizzare un tessuto privo di lanugine inumidito con alcol isopropilico (IPA) per pulire la superficie.
• Utilizzare un nastro riscaldante per cuocere la camera a 150 ºC e preriscaldare il riscaldatore della bobina e il crogiolo a 500 ºC, pompando con la turbopompa opzionale per almeno 2 ore.
• Pompare la camera per una notte senza riscaldamento se è necessario un vuoto superiore a 1,0E-5 Torr.
• Il coater può essere collocato in una camera a guanti con gas Ar o N2 per l'evaporazione termica di materiali sensibili all'umiltà e all'ossigeno, come il metallo Li. Fare clic sull'immagine a sinistra per una dimostrazione nel sito MTI VGB-6OP (Se si dispone di scatole a guanti di altre marche, potrebbe essere necessario un passante KF40 per collegare una pompa del vuoto all'esterno).
• NON avviare il programma di riscaldamento o aumentare manualmente la corrente senza una camera chiusa e un vuoto!
• NON rilasciare il vuoto o interrompere il pompaggio quando la torre di verniciatura è in fase di evaporazione! Durante il raffreddamento del riscaldatore, interrompere il pompaggio o rilasciare il vuoto SOLO quando la temperatura scende sotto i 100 ºC!
  

SPC2-ARSC