ALD/CVD/PVD

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Sistema di erogazione gas MFC compatto a 2 canali con pannello di controllo a sfioramento PLC - GSL-2Z-LCD-S

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Regolatore di portata massica computerizzato (max. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM

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Regolatore di portata massica equivalente a N2 fino a 5000sccm (senza display, solo per sostituzione) - MFC-7B

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Miscelatore di gas anticorrosione compatto a tre canali in PTFE (100 -1000 mL/min) - EQ-CGM-3F-PTFE

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Stazione di controllo di miscelazione del gas a tre canali anticorrosione realizzata con parti in PTFE - GSL-3F-PTFE

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Unità di controllo ALD a 2 canali con sistema di erogazione del gas MFC a 4 canali - EQ-ALD-GSL-4

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Sistema di controllo gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC - GSL-LCD

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Stazione di miscelazione gas con flussimetri a tre canali e valvole a galleggiante - GSL-3F-SS

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Miscelatore compatto a due canali per gas di traccia (flussimetro 16 -160 ml/m) - CGM-2F

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Forno tubolare a 1100°C con sublimatore di precursore solido per strati 2D CVD di TMD - OTF-1200X-4-NW-UL

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Forno CVD rotativo a due zone da 4" 1200C con sistema di alimentazione e ricezione automatica - OTF1200XIIR4-AF

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Forno micro-CVD/PVD per analisi in situ con 2 zone di riscaldamento, 1100°C max. - GSL-1100-Micro

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Forno rotativo PE-HPCVD a 1200 C con evaporatore in situ, MFC a 4 canali e pompa per vuoto - OTF-1200X-II-PEC4

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Forno tubolare 1200C con set anticorrosivo: Flange in PTFE e miscelatore di gas - OTF-1200X-80-F3LV-PTFE

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Forno tubolare a due zone a 1200°C max. Forno tubolare da 80 mm OD con evaporatore di liquidi, rilevatori di umidità e H2 e valvola di intercettazione - OTF-1200X-II-80HG-UL

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Forno a 3 zone (diametro 5", 1200C max) con flangia scorrevole, miscelatore a gas e pompa del vuoto -OTF-1200X-III-5-C3LVSF

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Forno tubolare in allumina a zona singola 1700C con miscelatore di gas a 3 canali, stazione del vuoto e vacuometro anticorrosivo - GSL-1700X-F3LV

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Forno tubolare 1700C a tre zone da 60 mm in allumina con miscelatore di gas e sistema di vuoto* - GSL-1700X-60-III-F3LV

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Forno tubolare a zona singola (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV

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Forno tubolare 1700C con sistema di regolazione della pressione del vuoto di precisione (E-4 torr) - GSL-1700X-PRY-UL-LD