MTI  |  SKU: TM106-LD

Monitor di spessore e velocità di deposizione di film sottili in situ con software e sensore opzionale, cristalli di quarzo - TM106-LD

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Monitor di spessore e velocità di deposizione di film sottili in situ con software e sensore opzionale, cristalli di quarzo - TM106-LD

MTI

EQ-TM106-LD è un sensore/monitor di spessore ad alta precisione per il processo di deposizione di film sottili. Si basa sul principio che la massa di un film depositato su un cristallo di quarzo può essere misurata monitorando la variazione della frequenza di oscillazione del cristallo. Se la densità del materiale depositato è nota, lo spessore può essere determinato con un'alta risoluzione sub-Angstrom (0,037 Å per questa apparecchiatura).


SPECIFICHE:
Potenza
  • 5 VDC, 400 mA
Gamma di frequenza
  • Da 6,0 a 5,0 MHz (fissa)
Risoluzione di frequenza
  • +/- 0,03 Hz a 6 MHz
Velocità di misura
  • Fino a 10 misure al secondo
Stabilità della frequenza di riferimento
  • +/- 2 ppm
Risoluzione dello spessore e della frequenza
  • +/- 0.037Å @utensile = 100%, densità = 1,00 g/cm3, rapporto Z = 1,00, frequenza = 6,0 MHz
Risoluzione del display
  • 0.1 Š        
Temperatura di esercizio
  • Da 0 a 50°C
Flusso d'acqua richiesto
  • Flusso d'acqua minimo 150-200 cc/min, 30° C max.
Alimentazione dell'acqua
  • Tubo da 1/8" (3,0 mm) O.D.
Pacchetto standard
  • Il sensore con il supporto al quarzo è incluso.
  • 6? Il cavo BNC M/F è incluso
  • È incluso un adattatore per connettore Bulkhead da femmina SMA a femmina (per i sistemi di deposizione di film MTI, passaggio con adattatore da femmina SMA (nella camera di deposizione) a femmina BNC (fuori dalla camera)).
  • Sono inclusi i cristalli di quarzo dorati di un set (10 PCS).
Supporto per quarzo 6? BNC-J3 femmina a
Cavo SMA-J3 femmina		 Adattatore SMA Bulkhead Cristalli di quarzo dorati
Cristalli di quarzo (opzionali)
Lega
  • Frequenza di partenza: 6 MHz
  • Dimensioni del cristallo: 14 mm Dia.
  • Schema di elettrodi di ancoraggio per la massima stabilità e durata del cristallo
  • I cristalli di quarzo con elettrodi in oro e in lega possono essere ordinati presso MTI (fare clic sulle immagini sottostanti o selezionare le opzioni del prodotto).
  • Scegliere il cristallo di quarzo con il materiale dell'elettrodo più adatto alla vostra applicazione oro, argento, lega
    • Raccomandiamo elettrodi in cristalli d'oro per la maggior parte delle applicazioni
    • Gli elettrodi di argento funzionano bene per i processi con elevati carichi termici, come lo sputtering.
    • Gli elettrodi di cristallo in lega sono raccomandati per la deposizione ad alte sollecitazioni, come il rivestimento ottico con materiali dielettrici e i processi di semiconduttori con materiali ad alte sollecitazioni. 
Sistema operativo
  • Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, Windows 2000
Software
  • Il software STM-2 è incluso (è disponibile anche il link per il download). qui)
  • Software applicativo STM-2 LabVIEW è disponibile qui.
  • Si consiglia vivamente di acquistare un computer portatile aggiuntivo (699 dollari) con software preinstallato. ordinare presso MTI    
Installazione            
Conformità  Certificato CE (assemblato negli USA)
Dimensioni di produzione
  •  Dimensioni del monitor: 114 mm L x 76 mm L x 25 mm H
  • Supporto al quarzo: 325 mm L x 25 mm L x 15 mm H
              
Peso del monitor
  • 57 g
Garanzia
  • Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita
Istruzioni per il funzionamento    
Note applicative
  • Se avete bisogno di testare la resistenza di un rivestimento dell'elettrodo alla fessurazione o al distacco da un substrato, fate clic per ordinare il tester di flessibilità.
  • È possibile acquistare il passante per il monitor di spessore TM106. Se avete bisogno di un passante personalizzato, inviateci un'e-mail per maggiori informazioni.
  •    
    Disegno Prova di flessibilità Applicazione per il passaggio di sputtering

ELENCO DELLE PARTI:
No. Descrizione Quantità
1
 STM-2 monitor di velocità/spessore 1
2
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