Spalmatore a evaporazione termica ad alto vuoto a quattro sorgenti con doppia sorgente10-6 torr - GSL-1800X-ZF4

Potenza di ingresso e di uscita

• Ingresso: 208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, monofase
• Potenza totale richiesta: 5 KW (compresa la pompa)
• Su richiesta sono disponibili altre tensioni trifase
• Uscita: 0 - 8VAC max. e 200A max. (1600 W max.)

Camera del vuoto

• Camera in acciaio inox:  300 mm ID. x 360 mm Altezza, superficie di lucidatura elettrolitica sabbiosa 
• Finestra di osservazione di 100 mm davanti alla camera
• Porta a cerniera per facilitare il caricamento dei campioni
• Gli otturatori azionati elettricamente si trovano sulla parte superiore di ogni barca di evaporazione W, che consente di evaporare 4 tipi di materiale uno alla volta
• Una porta KF40 con valvola a saracinesca per collegare direttamente la turbopompa al DN 100 ISO-K
• Una porta KF16 per il collegamento del vacuometro
• Sei porte CF35 per collegare un dispositivo necessario (ad es. monitor dello spessore del film)

• Una pompa per vuoto turbo ad alta velocità è opzionale con un costo aggiuntivo (fare clic sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche).
• Livello di vuoto: 5,0x10^-6 Torr (dopo 40 minuti di pompaggio)
• Vuoto limite: 5,0x10^-7  Torr (dopo la cottura a 100 -150°C)
• Tasso di perdita: 5.0x10^-7 Pa.
• Porta del vuoto: DN 100 ISO-K
• Una pompa meccanica (YTP-550-LD) è meglio installarla in serie per raggiungere inizialmente il livello di vuoto di 3E-3Torr, che è buono per le successive turbopompe per raggiungere il livello di vuoto target.

• Sono incluse quattro barche di riscaldamento in tungsteno supportate da elettrodi freddi ad acqua
• La barca di riscaldamento al tungsteno ha dimensioni 70L x 12L x 3H (mm). La barca W di ricambio è disponibile a un costo aggiuntivo)
• Ciascuna parte superiore della barca è dotata di un otturatore a funzionamento manuale 
• L'otturatore manuale incorporato consente di utilizzare la fonte di evaporazione senza contaminazione.
• Il portacampioni rotante da 120 mm di diametro si trova sulla parte superiore della camera con un diametro di 300 mm,
• La distanza tra la sorgente di evaporazione e il portacampioni è regolabile da 140 a 200 mm.
• Lo stadio per campioni con funzione di riscaldamento (fino a 500 °C) è opzionale ed è disponibile su richiesta

• Il monitor di spessore del film ad alta risoluzione e il controller sono opzionali (fare clic sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche dettagliate).
• La precisione del controllo dello spessore è di 1,0 Angstrom.

• Il controllo del vuoto, dello spessore e dell'alimentazione sono integrati in un'unica centralina di controllo.
• L'unità di controllo è separata dalla camera del vuoto per facilitarne lo spostamento
• È possibile posizionare l'unità di controllo sopra la stazione del vuoto 

Requisiti della struttura 

Certificato