3 teste RF/DC per il rivestimento di plasma sputtering per polveri con sistema di purificazione del gas a 1 PPM - VTC-3HD-VP

• Monofase 220VAC +/- 10%, 50/60 Hz
• 2000 W (compresi pompa del vuoto e refrigeratore d'acqua)
• Se la tensione è di 110 V, è possibile ordinare un trasformatore da 3000 W presso MTI (fare clic sull'immagine a sinistra per i dettagli).

• Tre sorgenti di potenza di sputtering sono integrate in un'unica scatola di controllo (fare clic sull'immagine sottostante per vedere le specifiche dettagliate)
• Sorgente DC: 500 W di potenza per il rivestimento di materiali metallici (Fig. 1)
• Sorgente RF: 300 W di potenza, frequenza 13,56 MHz per il rivestimento di materiali non conduttivi (Foto 2)

Testa di sputtering a magnetrone

Obiettivo di sputtering

• Dimensioni del target richieste: 1" di diametro x 1/8" di spessore max
• Gamma di distanza di sputtering: 50 - 80 mm regolabile
• Angolo di sputtering: 0 - 25° regolabile 
• Bersaglio Cu da 1" di diametro e Al₂O₃ sono inclusi per i test dimostrativi
• Su richiesta sono disponibili diversi target di ossido da 1" per lo sputtering, con un costo aggiuntivo.
• Per l'incollaggio dei target, sono incluse piastre di supporto in rame da 1 mm e 2 mm. L'epossidica argentata e le piastre di supporto in rame supplementari possono essere ordinate presso MTI.
  

Camera da vuoto

Portacampioni a vibrazione

• L'amplificazione delle vibrazioni è regolabile da 400 a 2000 RPM in termini di velocità del motore.
• Un serbatoio per la polvere da 2" (a forma di tazza) si trova sul motore di vibrazione. La polvere rimbalza e si auto-rota durante il processo di rivestimento.
• Quantità di polvere consigliata: 5 - 20 ml
• Dimensione delle particelle suggerita: 1 ~ 1000 micron (la polvere deve essere asciugata sottovuoto prima del rivestimento)
• La fase di miscelazione a lama è disponibile su richiesta per quantità maggiori di polvere.

Sistema di purificazione del gas

• Tecnologia innovativa di MTI: l'utilizzo di un sistema di purificazione del gas in sostituzione della turbopompa per ottenere il rivestimento della batteria.
• Due colonne di setacci molecolari sono integrate nel sistema, in grado di rimuovere l'ossigeno e l'umidità in misura inferiore a < 1 PPM.
• Regolatore di temperatura di rigenerazioneè integrato per rigenerare automaticamente i filtri
• La funzione di spurgo automatico è integrata per ridurre rapidamente O2 < 200 ppm e H2O < 50 ppm prima del riciclo.
• Il sistema di controllo automatico della pressione è integrato per mantenere la pressione a un livello costante.
• È incluso un touch panel PLC a colori da 6" che può impostare e visualizzare il livello di umidità e di pressione..
• Fare clic sull'immagine della colonna di sinistra per vedere le specifiche dettagliate
• Dopo la purificazione con O2 e H2O < 1 PPM, la pressione della camera può essere impostata a un livello di vuoto adeguato (50 - 100 m-torr) per lo sputtering, che è molto meglio del vuoto di 10-5 torr.

• Quarzo preciso Monitoraggio dello spessore del film opzionale, che può essere inserito nella camera per monitorare lo spessore del rivestimento con una precisione di 0,10 Å.

Conformità

• Approvazione CE
• La certificazione NRTL è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo; per il preventivo, contattare il nostro rappresentante commerciale.

Opzionale

• Questa torre di verniciatura può essere inserita in una camera a guanti standard con una modifica per i materiali sensibili all'aria. (Fig. 1)
• Su richiesta, è disponibile un torre di verniciatura a 3 teste più grande con camera di aspirazione da 12", ordine di campionamento da 8" e 3 pistole di sputtering da 2" (Fig. 2).