MTI  |  SKU: GSLALD4

Unità di controllo ALD a 2 canali con sistema di erogazione del gas MFC a 4 canali - EQ-ALD-GSL-4

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Unità di controllo ALD a 2 canali con sistema di erogazione del gas MFC a 4 canali - EQ-ALD-GSL-4

MTI

  EQ-ALD-GSL-4 è un'unità di erogazione del precursore ALD a due canali di precisione con sistema di miscelazione ed erogazione del gas MFC a quattro canali, progettata per l'autocostruzione di un sistema di rivestimento ALD con qualsiasi forno o camera per la crescita di film sottili e il rivestimento superficiale in polvere. Il touch screen LCD consente di controllare facilmente il tempo di pulsazione ALD e il flusso di gas per ciascun canale. 

SPECIFICHE

Tensione di lavoro

   AC 220V Monofase 50/60Hz

Potenza

   100 W

PLC Touch Screen  
  • Tutti i parametri del tempo di impulso del vapore ALD e del flusso di gas sono controllati dal PLC tramite un pannello touchscreen da 6" in un carrello mobile. 
    • Controllo di due valvole ALD con tempo di durata dell'impulso e ciclo con precisione al microsecondo
    • Controllo per i canali di erogazione del gas con ±0,2%F.S. tramite MFC
    • Visualizzazione della pressione del vuoto 
    • Altri parametri su richiesta del cliente
    • Fare clic sull'immagine a sinistra per visualizzare l'interfaccia di controllo
  •  La porta RS485 e il software in dotazione sono inclusi per il funzionamento a distanza tramite PC.

 Valvole ALD
  • Sono incluse due valvole ALD per la fornitura di gas di essiccazione o liquido-vapore vapore liquido del precursore.
  • Il numero di canali ALD può essere personalizzato su richiesta.
  • Frequenza massima di accensione/spegnimento: 283 HZ
  • Tempo di impulso min. Tempo di impulso: 10 ms
 

Regolatore di flusso di massa
  •  Sono inclusi quattro MFC per l'erogazione di 4 tipi di gas di trasporto in modo indipendente o tramite miscelazione 
    • Campo di regolazione:
    • Controllore 1: 0~100 SCCM
    • Controllore 2: 1~199 SCCM
    • Controllore 3: 1~199 SCCM
    • Controllore 4: 1~499 SCCM
    • Nota: altro intervallo MFC possono essere personalizzate su richiesta con un costo aggiuntivo. ]
  • Temperatura di lavoro: 5~45 ºC
  • Pressione max. Pressione: 3x106 Pa
  • Precisione: ±1,5% FS
  • Liner: ±0,5-1,5%F.S.
  • Precisione dei duplicati: ±0,2%F.S.
  Gasdotto
    
  • Un serbatoio di miscelazione del gas in acciaio inossidabile è incorporato
  • Conduttura interna: 1/4" O.D in acciaio inox
  • Tubazione esterna: 1/4" O.D PTFE
  Serbatoio di miscelazione del gas     ?80X120 mm

  Valvola di arresto e raccordi
  • Sono incluse 4 valvole a spillo in acciaio inox 316
  • ?Raccordo per tubo Swagelok da 1/4
  Dimensioni   600 mm (L) x 745 mm (L) x 700 mm (H)
  Conformità
  • Tutti i componenti sono certificati CE 
  • L'unità può ottenere la certificazione TUV (UL61010) o CSA a un costo aggiuntivo. 
 Garanzia
   Un anno limitato dal supporto a vita
 Opzionale
  • È possibile ordinare un gorgogliatore o un sistema di erogazione del vapore facendo clic sull'immagine qui sotto
  • Possiamo aiutarvi a collegare l'unità di controllo ALD con il forno a tubi MTI con un costo aggiuntivo.
                
Istruzioni per il funzionamento


         
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