Templato di AlN non drogato su silicio ( Si <111> Tipo P ) 5mmx5mm x 200 nm - FmAlNonSiBc050505S1FT200nm
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Templato di AlN non drogato su silicio ( Si <111> Tipo P ) 5mmx5mm x 200 nm - FmAlNonSiBc050505S1FT200nm
MTI
Il Template di AlN su silicio è realizzato da un PVDNC metodo PVDNC. Il template di AlN su silicio è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Area utile: 90%
- Spessore nominale AlN: 200nm ±10%, film AlN rivestito su un lato e non drogato
- Superficie frontale: <1nm RMS, as-grown
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Superficie posteriore: silicio come ricevuto
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Orientamento AlN: Piano C (00.1)
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Densità di macrodifetti: <1/cm^2
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Base del wafer: Silicio [111] di tipo P, 5x5 x0,5 mm, un lato lucidato
- Per la pulizia standard della mascherina AlN, fare clic qui.
- Fare clic qui per visualizzare i dati tecnici della mascherina AlN..
- Per la scheda delle proprietà fisiche della sagoma AlN, fare clic qui.
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