Templato AlN su 4" di silicio (Si <111>tipo P, drogato B) 4 "x 500 nm - FmAlNonSiBc101D05C1FT500nmUS
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Templato AlN su 4" di silicio (Si <111>tipo P, drogato B) 4 "x 500 nm - FmAlNonSiBc101D05C1FT500nmUS
MTI
Il modello AlN su silicio è realizzato da un PVDNC metodo PVDNC. Il template di AlN su silicio è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Uarea utile: 90%
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Spessore nominale dell'AlN: 500nm ±10%, film di AlN non drogato rivestito su un lato
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Superficie anteriore: come-incorporata
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Superficie posteriore: silicio come ricevuto
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Orientamento AlN: Piano C (00.1)
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Densità dei macrodifetti: <10/cm^2
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Base del wafer: Silicio [111] tipo P, diametro 4" x0,5 mm, un lato lucidato, R<5 ohm.cm
- Per la pulizia standard del modello AlN, fare clic qui.
- Fare clic qui per visualizzare i dati tecnici della mascherina AlN..
- Per la scheda delle proprietà fisiche della sagoma AlN, fare clic qui.
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