Template GaN su zaffiro (0001) 5 x 5 mm x 0,5 mm, 1sp .Film GaN: 5um
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Template GaN su zaffiro (0001) 5 x 5 mm x 0,5 mm, 1sp .Film GaN: 5um
MTI
Il GaN Template su zaffiro è realizzato con un metodo basato sull'epitassia in fase di vapore di idruro (HVPE). Durante il processo HVPE, HCl reagisce con Ga fuso per formare GaCl, che a sua volta reagisce con NH3 per formare GaN. Il GaN template è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di GaN.
Specifiche tecniche
- Dimensione: 5mmx5mm
- Substrato ZaffiroOrientamento C (0001) +/- 1,0 o
- Tipo di conduzione: tipo n,
- Resistività < 0.5 Ohm-cm
- Front Surface Finish (Ga Face) As-grown
- Back Surface Finish Sapphire as-received finish
- Useable Surface Area >90%
- Area di esclusione dei bordi 1 mm
- Confezione Contenitore per singolo wafer
- Spessore dello strato di GaN 5 micron, (=/- 10%) con rugosità: ~10 nm RMS misurata dal Wyko (interferometro a luce bianca) per un'area di 50 umx50 um
- Cliccare qui per vedere Curva di oscillazione XRD di un modello GaN
- Cliccare qui per vedere Dislocazione vs. spessore della sagoma di GaN
- Cliccare qui per vedere RMS del modello GaN
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