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Template GaN su zaffiro (0001) 5 x 5 mm x 0,5 mm, 1sp .Film GaN: 5um

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Template GaN su zaffiro (0001) 5 x 5 mm x 0,5 mm, 1sp .Film GaN: 5um

MTI

Il GaN Template su zaffiro è realizzato con un metodo basato sull'epitassia in fase di vapore di idruro (HVPE). Durante il processo HVPE, HCl reagisce con Ga fuso per formare GaCl, che a sua volta reagisce con NH3 per formare GaN. Il GaN template è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di GaN.

Specifiche tecniche

  • Dimensione: 5mmx5mm
  • Substrato ZaffiroOrientamento C (0001) +/- 1,0 o
  • Tipo di conduzione: tipo n,
  • Resistività < 0.5 Ohm-cm
  • Front Surface Finish (Ga Face) As-grown
  •  Back Surface Finish Sapphire as-received finish
  •  Useable Surface Area >90% 
  •  Area di esclusione dei bordi 1 mm
  •  Confezione Contenitore per singolo wafer
  • Spessore dello strato di GaN 5 micron, (=/- 10%) con rugosità: ~10 nm RMS misurata dal Wyko (interferometro a luce bianca) per un'area di 50 umx50 um
 Dati correlati

 

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