Template AlN su zaffiro(0001) 2 "x 0,5 mm, due lati lucidati, film AlN: 1000nm
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Template AlN su zaffiro(0001) 2 "x 0,5 mm, due lati lucidati, film AlN: 1000nm
MTI
Il Template AlN su zaffiro è realizzato con una metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Dimensioni: 2" rotondo
- Substrato Zaffiro Orientamento: Piano C 0,20° di taglio verso il piano m
- Tipo e drogaggio per il film di AlN Non drogato
- Densità dei macrodifetti: <5 cm-2
- Front Surface Finish (Al Face): As-grown
- Back Surface Finish Sapphire: as-received finish
- Useable Surface Area: >90%
- Area di esclusione dei bordi: 1 mm
- Confezione: Contenitore per singolo wafer
- AlSpessore strato N: 1000 nm +/- 5%
- Lucidatura: Entrambi i lati lucidati
Per i dati sulla rugosità superficiale e sulla XRD, fare clic qui.
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