Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5 mm, un lato lucidato, film AlN: 1000nm - FmAlNonALc50D05C1FT1000US
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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5 mm, un lato lucidato, film AlN: 1000nm - FmAlNonALc50D05C1FT1000US
MTI
Il Template AlN su zaffiro è realizzato da una metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Dimensioni 2" rotonde
- Orientamento del film sottile AlN: (0001)
- Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (0001) +/- 1,0 deg.
Tipo e drogaggio del film di AlN Non drogato, semi-isolante - Densità dei macrodifetti: <=5 cm-2
- Front Surface Finish (Al Face): As-grown
- Back Surface Finish Sapphire as-received finish
- Useable Surface Area >90%
- Area di esclusione dei bordi 1 mm
- Pacchetto Contenitore per singolo wafer
- AlSpessore strato N 1000 nm +/- 5%
- Lucidatura: Lucidato su un lato
Per i dati sulla rugosità superficiale e sulla XRD, fare clic qui.
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