Substrato a cristallo singolo GaN, tipo N, (10-10), 5 x10 x 0,3 mm, 1SP

I substrati di cristallo singolo GaN sono prodotti con un metodo basato sull'epitassia in fase di vapore di idruri (HVPE). Durante il processo HVPE, HCl reagisce con Ga fuso per formare GaCl, che a sua volta reagisce con NH3 per formare GaN. L'elevato tasso di crescita consente di ottenere spessori di wafer autoportanti in un periodo di tempo conveniente.

Specifiche del substrato

• Orientamento: Asse M (10-10) +/- 1,0 ^o
• Tipo: Tipo N (non drogato)
  
• Spessore nominale 300+/- 25 micron
• Dimensioni: 5 mm x 10 mm +/- 0,5 mm
• Resistività <0,5 ohm.cm
  
• Densità di dislocazione < 5x10^5 cm^-2
• TTV: <=15 um
• BOW: <=20 um
• Finitura della superficie anteriore (Faccia Ga) , RMS <2.0 nm, Epi-Ready polished 
  
• Back Sutface Finish: Fine Ground
  
• Useable Surface area: >90%
  
• Pacchetto Contenitore singolo di wafer o scatola di membrana 
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