Struttura del forno
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- Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza per il massimo risparmio energetico
- Tre zone di riscaldamento per ottenere 600 mm di zona a temperatura costante fino a 1100ºC.
- Tubo di quarzo da 8,5" OD 5 8" ID con flange a tenuta di vuoto
- Una guida scorrevole azionata da un motore CC facilita il caricamento della barca di grafite e dei campioni
- La barca di grafite ad alta purezza può trasportare fino a 12 wafer circolari o rettangolari da 6".
- L'alimentatore RF da 1000W (13,5MHz) è incluso per la generazione del plasma.
- Sistema di miscelazione ed erogazione di gas a quattro canali per la deposizione dei precursori.
- Una pompa da vuoto (a olio o a secco) è disponibile su richiesta.
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| Potenza |
- 208-240 VCA, monofase, 50/60 Hz
- 9 kW
- Il cavo di alimentazione è incluso senza spina. MTI può aiutare il cliente ad aggiungere una spina di alimentazione a un costo aggiuntivo.
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Tubo e flange in quarzo
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- 8.5" O.D x 8,2" I.D x 51" di lunghezza
- Un tubo al quarzo è incluso e il tubo di ricambio è disponibile come opzione (fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare).
- Le flange SS304 sono incluse con la porta per il vuoto e la valvola KF40, mentre l'ingresso e l'uscita del gas sono inclusi.
- Il doppio binario di scorrimento incorporato e il motore a corrente continua azionano la flangia e l'imbarcazione del campione in entrata e in uscita
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Barca in grafite
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- Barca di grafite realizzata in grafite di elevata purezza (Giappone) con elettrodi RF
- 12 slot 4x3 ) slot per il trasporto di wafer da 6" x6" x0,5 mm o 6" di diametro
- La barca di grafite personalizzata (4x4 o 5 x4) è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
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Fornace
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- Elemento riscaldante: Filo di resistenza NiCrAl
- Zona di riscaldamento: Tre zone di riscaldamento ( 300 mm + 300 mm + 300 mm )
- Zona a temperatura costante: 600 mm entro +/- 2ºC ( se 3 zone alla stessa temperatura)
- Temperatura di lavoro: 400 -1100°C
- Max. velocità di riscaldamento/raffreddamento: 10°C/min
- Fare clic sull'immagine a sinistra per visualizzare i dettagli delle specifiche del forno.
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Regolatori di temperatura
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- Tre termoregolatori Eurotherm 3000 con 24 segmenti programmabili
- Sono installate tre coppie termiche di tipo K.
- Precisione della temperatura: +/- 0.1°C
- Il modulo di interfaccia software e PC è incluso
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Generatore di plasma RF
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- Potenza di uscita: 20 -1000W regolabile con stabilità di ±1%.
- Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità
- Corrispondenza: automatica con condensatore d'aria variabile
- Raffreddamento: Raffreddamento ad aria
- Rumore: <50 dB
- Alimentazione: 110 - 240VAC, 50/60Hz
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Sistema di erogazione del gas
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- Quattro MFC sono incorporati in un carrello mobile con unprecisione: ±1,5%FS e repetibilità: ±0,2%FS
- Controllore 1: 0~100 SCCM
- Controllore 2: 1~199 SCCM
- Controllore 3: 1~199 SCCM
- Controllore 4: 1~499 SCCM
- Pannello touch screen per i parametri di erogazione del gas
- Porta RS485 installata per il controllo remoto da parte di un PC
- Su richiesta, è disponibile un software personalizzato da abbinare alle ricevute, con un costo aggiuntivo.
- Le gamme di ogni MFC sono intercambiabili con un costo aggiuntivo.
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| Pompa del vuoto e manometro |
- È incluso un misuratore di vuoto anticorrosione fino a 10-5 torr.
- È necessaria una pompa del vuoto, ma non è inclusa. Fare clic sul link per ordinare
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 Vacuometro Pompa dell'olio  Pompa a coclea a secco
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| Dimensioni del prodotto |
 Fare clic sull'immagine per vedere i dettagli.
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| Peso netto |
~ 500 Kg |
| Dimensione di spedizione |
70" x 70" x 65" |
| Peso di spedizione |
~600 Kg |
| Garanzia |
Un anno di garanzia limitata per le parti elettroniche e meccaniche, esclusi l'elemento riscaldante e il tubo ceramico danneggiati dall'utente |
| Conformità |
- Certificazione CE
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La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta.t
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Diagramma schematico e
Video dimostrativo |
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