MTI | SKU: OTF-1200X-II-PE-RR

Sistema PE-CVD roll to roll per la crescita continua di film su filo o foglio - OTF-1200X-II-PE-RR

Name: Sistema PE-CVD roll to roll per la crescita continua di film su filo o foglio - OTF-1200X-II-PE-RR
Brand: MTI
SKU: OTF-1200X-II-PE-RR
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Sistema PE-CVD roll to roll per la crescita continua di film su filo o foglio - OTF-1200X-II-PE-RR

MTI

OTF-1200X-II-PE-RR è un sistema di sistema Roll to Roll su scala di laboratorio PE-CVD (Deposizione di vapore chimico potenziata da plasma) sistema di forni a tuboche consiste in una sorgente di plasma RF da 300 W, un forno a tubi divisi a due zone di riscaldamento da 80 mm di diametro con una temperatura massima di 1200 °C, una stazione di erogazione del gas MFC a 3 canali, una pompa del vuoto meccanica di alta qualità e due camere del vuoto con avvolgimento del substrato e pannello di controllo touch screen. Il sistema R2R è stato progettato per esplorare la flessibilità di crescita del grafene o di altri film bidimensionali in modo continuo su fogli sottili o fili per l'industria.
(Il meccanismo di controllo della tensione è stato aggiunto dal gennaio 2023).

Specifiche tecniche

Forno a tubo a due zone di riscaldamento	Due zone di riscaldamento con una zona di riscaldamento singola di 440 mm di lunghezza e una zona di temperamento costante di 250 mm di lunghezza 1200^oC Temperatura massima di lavoro per < 60 minuti 1100^oC Max per riscaldamento continuo Regolatore di temperatura digitale di precisione programmabile a 30 segmenti con accuratezza di +/1ºC (Temperatura Eurotherm 3000 è opzionale per +/- 0,1ºC precisione) Tubo di quarzo ad alta purezza: 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm Lunghezza 2,83" ID x 55" Lunghezza Tubo da 100 mm OD x 94 mm ID disponibile come opzione Potenza in ingresso: 208 - 240V AC, monofase a max. 3KW Forno a tre zone di riscaldamento disponibile come opzione
Alimentazione al plasma RF	Potenza di uscita: 5 - 300W regolabile con una stabilità di ± 1%. Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità Corrispondenza: automatica Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina Rumore: <50 dB. Raffreddamento: Raffreddamento ad aria Alimentazione: 208-240VAC, 50/60Hz, monofase
Camere a vuoto R2R	Due camere del vuoto sono situate alle due estremità del forno e collegate al tubo di quarzo. I rulli di avvolgimento per l'ingresso e l'uscita del substrato si trovano all'interno della camera del vuoto. La velocità di avvolgimento del substrato è regolabile da 1 a 400 mm/min. Il meccanismo di controllo della tensione di precisione è incorporato nella forma 0 - 1000g) Substrato mobile massimo: 65 mm Larghezza per tubo da 80 mm OD Un rotolo di foglio di rame con larghezza di 65 mm e spessore di 0,025 mm (~5 kg) è incluso per la pratica del cliente. Su richiesta è disponibile un tubo da 100 mm di diametro esterno, che può alimentare un substrato con un peso massimo di 0,5 kg. larghezza massima di 80 mm Il meccanismo Roll to Roll con regolatore di velocità e flangia sigillata senza forno può essere disponibile su richiesta.
Stazione di erogazione del gas a tre canali	Temperatura di lavoro: 5~45 ºC Pressione max. Pressione: 3x10⁶Pa Precisione: ±1,5% FS Liner: ±0,5-1,5%F.S. Accuratezza dei duplicati: ±0,2%F.S. Campo di controllo: Controllore 1: 0~100 SCCM (calibrazione gas Ar) Controllore 2: 1~199 SCCM (calibrazione gas H2) Controllore 3: 1~499 SCCM (Calibrazione del metano) Fare clic su Pic a sinistra per le specifiche di dettaglio Attenzione: H2 e Metano devono essere installati nelle vicinanze del forno per allarmare le perdite di gas.
Pompa del vuoto e valvola	Pompa per vuoto rotativa a palette per impieghi gravosi (7,8 CFM -240 L/m) con sistema di scarico a due stadi installato nella cassa inferiore con pressione di vuoto massima di 10-2 Torr. L'adattatore KFD25 e il tubo in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con la valvola a sfera. Il manometro digitale per il vuoto e il display sono installati con il forno (Fig. 1). La pompa oil-less (Fig. 2) e il sistema di miscelazione e mandata del gas (Fig. 3) sono disponibili e il sistema di controllo della pressione del vuoto PID è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo. Foto. 1 Fig. 2Figura 3 3
Manometro anticorrosione	3.8x10^-5 a 1125 Torr campo di misura Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo Elemento sensore plug & play facile da sostituire Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate
Regolatore di temperatura	Due regolatori di temperatura con 30 segmenti programmabili con precisione di temperatura di +/- 1 ºC Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza personale di sorveglianza Porta di comunicazione RS485 con software operativo per PC È possibile aggiornare il termoregolatore al modello Controllore Eurotherm con una precisione di 0,1 ºC con il software
Pannello di controllo	Pannello di controllo touch screen da 7" che controlla la temperatura, la portata del gas e la potenza del plasma Il software di controllo per PC è disponibile su richiesta per il funzionamento a distanza tramite computer portatile (è necessario acquistare un computer portatile con software preinstallato).
Opzionale	Possiamo aggiornare il forno a un tubo da 5" e produrre film di larghezza pari a 4". Il tubo di diametro maggiore, fino a 8" OD, per il sistema CVD roll to roll è disponibile su richiesta.
Dimensioni complessive	2400 L x 600 L x 1250 H mm
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con supporto per il tempo di sollevamento (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento.
Istruzioni per il funzionamento
Avvertenza Clicca qui per imparare