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MTI  |  SKU: OTF-1200X-ALD

Sistema di forni tubolari combinati ALD e PECVD - OTF-1200X-ALD

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Sistema di forni tubolari combinati ALD e PECVD - OTF-1200X-ALD

MTI

OTF-1200X-ALD è un forno a tubo a doppia zona che combina ALD ( Atomic Layer Deposition ) e PECVD ( deposizione di vapore chimico al plasma )
 per la preparazione di film sottili di nuova generazione
  • Due valvole ALD da 10 ms per la deposizione di film ultrasottili
  • Richiede un processo a temperatura più bassa rispetto alla CVD convenzionale
  • Elevata velocità di riscaldamento e raffreddamento grazie al forno a scorrimento
  • Doppia zona di riscaldamento per creare un gradiente termico fino a 500ºC 
  • 1100ºC Temperatura massima di lavoro nel forno tubolare
  • 1100ºC Temperatura massima di lavoro nel preriscaldatore per il riscaldamento della fase vapore o l'evaporazione di materiali solidi
  • Raffreddamento e riscaldamento rapidi per la crescita di materiali 2D
SPECIFICHE:
Canale di controllo
  • Tutti i parametri di vapore, ALD e plasma sono controllati da PLC tramite un pannello touch screen da 6".
  • Fare clic sull'immagine sottostante per vedere il pannello di controllo
Valvola ALD
  • Due valvole ALD con regolatore di impulsi (durata minima 10 ms)
  • Pannello di controllo touch screen da 6 pollici
Generatore di liquido-vapore
  • Il generatore automatico di vapore liquido è incluso e si collega alla valvola ALD.
Forno a doppia zona a tubo diviso 
  • Max 1100ºC per riscaldamento continuo
  • Due termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Due zone di riscaldamento controllate e separate
    • Lunghezza di 200 mm per ogni zona di riscaldamento
    • 400 mm di lunghezza totale di riscaldamento
    • 250 mm di area di riscaldamento a temperatura centrale costante se entrambe le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura
    • 500ºC massima differenza di temperatura tra due zone con blocchi termici intermedi
  • Potenza in ingresso: 208 - 240V AC, monofase a max. 4KW

Alimentazione plasma RF
 
  • Potenza di uscita: 5 -500W regolabile con stabilità di ± 1%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità.
  • Potenza di riflessione: 200W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB.
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
Forno di preriscaldamento
  • Forno a tubo piccolo con zona di riscaldamento singola di 200 mm di lunghezza
  • Temperatura massima:  1100ºC
  • Controllo della temperatura programmabile a 30 segmenti
  • Il vapore passa attraverso il riscaldatore prima di entrare nel generatore di plasma RF.
  • È possibile inserire un materiale solido nel riscaldatore per farlo evaporare e miscelare con la fase di vapore.
  • Tubo di quarzo: 50 mm OD x 44 mm ID x 2200 mm L (il tubo da 80 mm OD è disponibile su costo aggiuntivo
  • Flangia per il vuoto: inclusa 
  • Tubi di quarzo
Manometro anticorrosione
  • 3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura
  • Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas 
  • Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica
  • Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo
  • Elemento sensore plug & play facile da sostituire
  • Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate.
Stazione di pompaggio a vuoto e valvole senza olio
 
 
Meccanismo di scorrimento
  • La guida di scorrimento e la vite sono integrate nel forno inferiore e possono spostarsi da un lato all'altro come programma per ottenere un riscaldamento o un raffreddamento più rapido.
  • La velocità di scorrimento è regolabile da  0-70 mm/s

Velocità di riscaldamento e raffreddamento
  • La porta RS485 e il software sono installati e consentono il controllo remoto del profilo di temperatura tramite PC (non incluso, il cliente può ordinarne uno da qui)
  • Per ottenere la massima velocità di riscaldamento, l'utente deve preriscaldare il forno alla temperatura desiderata, quindi far scorrere il forno nella zona del campione della provetta.
  • Per ottenere la massima velocità di raffreddamento, spingere il forno riscaldato dalla zona calda alla zona fredda.
Velocità di riscaldamento: 
15°C/sec (RT - 150°C);
10°C/sec (150°C - 250°C);
7°C/sec (250°C - 350°C);
4°C/sec (350°C - 500°C);
3°C/sec (350°C - 550°C);
2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0,5°C/sec (800°C - 1000°C);
Velocità di raffreddamento:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1,5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0,5°C/sec (400°C - 300°C);




Opzionale


                    
  • In opzione sono disponibili due o quattro misuratori di portata massica di precisione (accuratezza 0,02%) con display digitale, che possono sostituire la cassa inferiore per controllare automaticamente la portata del gas con il sistema. Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per sceglierne uno in base al proprio budget.
  • Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD, e in basso a destra per Modulo di controllo della temperatura costante
                            
 

Dimensioni complessive
  • Forno: 550 x 380 x 520 mm 
  • Binario di scorrimento: doppio binario con lunghezza di 1750 mm
  • Due guide adiacenti Fondo Mobile Custodie: 1200 x 1200 x 1200 mm.
  • Peso netto: 220 libbre.
  • Peso di spedizione: 1200 libbre.
Garanzia
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