Sistema di forni tubolari ALD a polvere di rotazione da 4" fino a 1200C - ALD-1200X-R-4

   ALD-1200X-R-4 è un forno tubolare a rotazione da 4" che combina un sistema a due canali di ALD e un canale di erogazione di vapore liquido (Atomic Layer Deposition) e quattro canali di erogazione di gas per realizzare il rivestimento superficiale della polvere sia con ALD che con CVD. Il design intelligente rende l'ALD più conveniente e accessibile per ogni gruppo di ricerca.

SPECIFICHE:

Pannello di controllo	Tutti i parametri del flusso di vapore, ALD e gas sono integrati in un carrello mobile e controllati dal PLC tramite un pannello touch screen da 6":  Valvola ALD a due canali Per canali di erogazione del gas MFC  Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare l'interfaccia di controllo
Valvola ALD	Due valvole ALD con regolatore di impulsi (durata minima 10 ms) Possibilità di riscaldamento con attuatori termici
Generatore di liquido-vapore	Il generatore automatico di vapore liquido è incluso e si collega alla valvola ALD
Forno a rotazione	Max 1100ºC per riscaldamento continuo Due termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti. Potenza in ingresso: 208 - 240 V CA, monofase a max. 4KW Velocità di rotazione: 0 - 10 RPM Tubo al quarzo da 4" come da disegno         Quattro lame di miscelazione                Dimensione
Manometro anticorrosivo	3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura Anti-corrosivo, indipendente dal tipo di gas  Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo Elemento sensore plug & play facile da sostituire Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate.
Pompa del vuoto  ( opzionale)	10E-2 Torr è possibile ottenere il vuoto all'interno del tubo di lavorazione La pompa del vuoto non è inclusa, si consiglia di ordinare una pompa a secco per il processo CVD facendo clic sull'immagine sottostante.
Altro Bubbler Opzionale	Fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD, e in basso a destra ( 1-2) per Modulo di controllo a pressione costante( Fig.destra 2) Potrebbe aggiungere Quarzo Crystae termocoppia  per il monitoraggio dello spessore del film sottile e della temperatura con sovrapprezzo
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si consiglia di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta e a un costo aggiuntivo.
Note applicative Fare clic qui per scoprire come a un regolatore di gas	I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'utilizzo sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo. Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. Fare clic qui per imparare come configurare un tubo di quarzo/ceramica e una flangia per il vuoto per il forno a tubi MTI.
Applicazione	Utilizzo dell'ALD per ridurre in modo significativo l'elevata impedenza interfacciale solido-solido tra l'elettrolita di granato e i materiali dell'elettrodo. Articolo correlato:  Negazione dell'impedenza interfacciale nelle batterie Li-metallo allo stato solido a base di granato
Istruzioni per l'uso