Sistema di forni tubolari ALD a due canali da 4" fino a 1200C - ALD-1200X-4

• Si prega di vedere "Negazione dell'impedenza interfacciale nelle batterie Li-metallo allo stato solido a base di granato” pubblicato da NATURE Materials, 19 dic. 2016, in cui è stata utilizzata la tecnica ALD.  

ALD-1200X-4 è un forno a tubi da 4 pollici che combina due canali di ALD e un canale di erogazione di vapore liquido (Atomic Layer Deposition) e un sistema di erogazione di gas a quattro canali per la crescita CVD di nanomateriali e film pi, Il design intelligente rende l'ALD più conveniente e accessibile per ogni gruppo di ricerca.

SPECIFICHE:

Pannello di controllo	Tutti i parametri del tempo di pulsazione del vapore ALD e del flusso di gas sono controllati da PLC tramite un pannello touch screen da 6" su un carrello mobile.  Controllo di due valvole ALD con tempo di durata degli impulsi e cicli con precisione al microsecondo Controllo dei canali di erogazione del gas con ±0,2%F.S. tramite MFC Visualizzazione della pressione del vuoto  Altri parametri su richiesta del cliente Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare l'interfaccia di controllo
Valvola ALD	Due valvole ALD con regolatore di impulsi (durata minima 10 ms) Possibilità di riscaldamento con attuatori termici
Forno a doppia zona a tubo diviso	Max 1100ºC per riscaldamento continuo Due termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti. Due zone di riscaldamento controllate e separate Lunghezza di 200 mm per ogni zona di riscaldamento 400 mm di lunghezza totale di riscaldamento 250 mm di area di riscaldamento a temperatura centrale costante se entrambe le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura 500ºC massima differenza di temperatura tra due zone con blocchi termici intermedi Potenza in ingresso: 208 - 240V AC, monofase a max. 4KW Opzionale: Il sistema di controllo ALD può essere installato con un forno a tubo corto o un forno a tubo rotante, come indicato nella figura sottostante.
Manometro anticorrosivo	3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas  Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo Elemento sensore plug & play facile da sostituire Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate.
Pompa del vuoto  (opzionale)	10E-2 Torr è possibile ottenere il vuoto all'interno del tubo di lavorazione La pompa per il vuoto non è inclusa, si consiglia di ordinare una pompa a secco per il processo CVD facendo clic sull'immagine seguente
Altro Bubbler Opzionale	Fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD, e in basso a destra per Modulo di controllo a pressione costante Si può aggiungere Quarzo Crystae termocoppia  per il monitoraggio dello spessore del film sottile e della temperatura con sovrapprezzo
Aggiornamento dell'idea	È possibile utilizzare il dispositivo ALD per costruire un sistema ibrido ALD+ CVD potenziato al plasma e ALD+PVD+CVD per la crescita di materiali complessi e ALD in polvere con forno a rotazione. (PE-ALD+CVD)    (PE-ALD+PVD +CVD)
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
Conformità	La certificazione CE e la certificazione NRTLo CSA sono disponibili su richiesta con un costo aggiuntivo.
Note applicative Clicca qui per scoprire come a un regolatore di gas	I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'utilizzo sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi  Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock termici al tubo. Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. Clicca qui per imparare Come impostare il tubo di quarzo/ceramica e la flangia per il vuoto per il forno a tubi MTI.
Applicazione	Utilizzo dell'ALD per ridurre significativamente l'elevata impedenza interfacciale solido-solido tra l'elettrolita di granato e i materiali dell'elettrodo. Articolo correlato:  Negazione dell'impedenza interfacciale nelle batterie Li-metallo allo stato solido a base di granato
Istruzioni per l'uso