Sistema di erogazione gas MFC compatto a 2 canali con pannello di controllo a sfioramento PLC - GSL-2Z-LCD-S

• Due regolatori di flusso di massa di precisione ( MFC) in lato )
• Temperatura di lavoro: 5~45 ºC 
• Pressione massima Pressione: 3x10⁶ Pa 
• Precisione: ±1,5% FS 
• Liner: ±0,5-1,5%F.S.
• Precisione dei duplicati: ±0,2%F.S.
• Campo di controllo:
• Controllore 1: 1~ 99 SCCM
• Controllore 2: 1~199 SCCM

Potenza

• Tensione: AC 208 - 240V Monofase 50/60Hz
• Potenza: 100 W in totale
• È possibile ordinare un trasformatore da 100 W per il funzionamento a 110 VCA (fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare).

PLC Touch Screen  

•  Pannello di controllo touch screen a colori da 6" per facilitare l'impostazione dei parametri.
• Controllo touchscreen e PC remoto commutabile, La porta RS485 e il software in dotazione sono inclusi per il funzionamento a distanza tramite PC, per ora non compatibile con LabVIEW. 

• Un serbatoio di miscelazione del gas in acciaio inox è incorporato
• Conduttura interna: 1/4" O.D in acciaio inox
• Tubazione esterna: 1/4" O.D PTFE
• Serbatoio di miscelazione del gas: ?80X120mm
• Valvola di arresto e raccordi  
• Valvola a spillo in acciaio inox 316, 
• ?1/4" Swagelok Raccordo per tubo

• Dimensioni: 360 mm L x 300 P mm x 190 H mm 
• Peso: 8,4Kg

• Tutti i componenti sono certificati CE 
• La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento.  fare clic sui marchi sottostanti per conoscere i dettagli)

           

• Un sensore di ossigeno opzionale può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione. Per saperne di più, fare clic sull'immagine a sinistra: