MTI | SKU: EQ-MFC100A

Regolatore di portata massica computerizzato (max. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM

Name: Regolatore di portata massica computerizzato (max. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM
Brand: MTI
SKU: EQ-MFC100A
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Regolatore di portata massica computerizzato (max. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM

MTI

MFC-A è un controllore di portata massica digitale per CVD/PECVD/Grafene di MTI per controllare la portata del gas per diversi scopi di ricerca.

Questo prodotto non dispone di un display e deve essere controllato dal computer utilizzando il software del produttore.
Controllore digitale di portata massica per sistemi di controllo del gas
Economico, alta precisione e risposta rapida, multigas, azzeramento automatico, interfacce compatibili.
Utilizzato per controllare e misurare con precisione la portata di gas ad alta pressione.
Ideale per applicazioni CVD e altre miscele di gas.
Internazionale standard internazionale DB15 montaggio; si collega ai forni MTI con raccordo Swagelok1/4.

Specifiche tecniche

Campo di fondo scala (N₂)	( 0100,200,500,1000)SCCM Altri intervalli possono essere personalizzati con un costo aggiuntivo, si prega di inviare un'e-mail a info@mtixtl.com.
Precisione	±1,0% S.P. (?35% F.S.)
Precisione	±0,35% F.S.(35% F.S.)
Ripetibilità	±0,2% FS
Linearità	±0,5% FS
Tempo di risposta	1 secondo
Posizione di riposo della valvola	Normalmente chiusa o normalmente aperta
Coefficiente di temperatura	Zero: ±0,05% F.S./ Span: ±0,1% F.S.?30 SLM Intervallo: ?±0,2% F.S.30 SLM
Deriva di zero	0,6%F.S. all'anno senza autozero
Finitura superficiale (Ra)	25Ra
Temperatura di funzionamento	545
Interfaccia di comunicazione per il segnale di ingresso	Digitale: RS485 DeviceNet^TM Analogico: (05) VDC o (420) mA
Interfaccia di comunicazione per il segnale di uscita	Digitale: RS485 DeviceNet^TM Analogico: (05) VDC o (420) mA
Alimentazione	±11 ~ ±16 VDC o +11 ~ +28 VDC (400mA)
Connettore elettronico	D-sub 9 pin maschio, D-sub 15 pin maschio, DeviceNet^TM maschio
Pressione differenziale	(0,050,35) Mpa?10000SCCM (0.10.35) Mpa20000SCCM,30000SCCM (0,20,45) Mpa50000SCCM
Pressione massima	3MPa
Integrità delle perdite	1×10^-9 atm-cc / sec He1×10^-10 Pa-m³ / sec He
Guarnizioni Materiali	VitonNeoprene
Chimica di superficie (solo EP)	——
Raccordi	Swagelok1/4"
Peso	1 kg