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MTI  |  SKU: PCE6

Pulitore al plasma da 3 L con pompa a vuoto e controller digitale, camera al quarzo da 6" Dx6,5" L - EQ-PCE-6

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Pulitore al plasma da 3 L con pompa a vuoto e controller digitale, camera al quarzo da 6" Dx6,5" L - EQ-PCE-6

MTI

EQ-PCE-6 è un pulitore al plasma di medie dimensioni con camera al quarzo da 6" di diametro x 6,5" di lunghezza. È progettato per pulire e rimuovere la contaminazione organica su scala nanometrica sul substrato o sul wafer fino a 4" utilizzando plasma ad aria, ossigeno o argon. La velocità di rimozione degli organici è di circa 20 nm/min al massimo ad alta potenza RF. È uno strumento eccellente per pre-pulire il substrato di cristallo singolo prima della deposizione del film epitassiale per ottenere una migliore qualità. Se non avete esperienza con la pulizia delle superfici al plasma, consultate gli articoli seguenti:
  • McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Cambiamenti del substrato associati alla chimica dei monostrati autoassemblati su silicio". Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.
  • Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, Reginald M. Penner, John C. Hemminger, Lisa M. Wingen, Theo Brauers, Barbara J. Finlayson-Pitts. "La natura dell'acqua sulle superfici dei sistemi di laboratorio e le implicazioni per la chimica eterogenea nella troposfera". Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.
  • Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparazione di bilayer lipidici solidi supportati da Spin-Coating". Langmuir (2002) 18: 8172-8177.
SPECIFICHE
Potenza in ingresso
Potenza RF
  • La potenza RF (alta tensione e corrente ad alta frequenza applicate alla bobina) è regolabile su tre livelli: Impostazione bassa 7,2W; Impostazione media 10,2W; Impostazione alta 30W
  • Frequenza RF: 13,56 MHz
Pannello di controllo
  • Funzione di controllo: Tempo di pulizia, potenza RF, pompa del vuoto.
Camera del plasma
  • Camera al quarzo da 6" di diametro x 6,5" di lunghezza
  • Capacità di 3 litri
  • Sportello a cerniera con finestra di visualizzazione per facilitare il caricamento e l'osservazione dei campioni
Pompa a vuoto 
Gas inerte
  • Per la pulizia al plasma si possono scegliere diversi gas come N2, Ar, aria e gas misti.
  • Per il pulitore al plasma non devono essere utilizzati gas infiammabili.
Opzionale
 
  • Combinazione del pulitore al plasma PCE-6 con Miscelatore di gas a due canali è una soluzione per introdurre fino a due gas di processo. Ordinare il plasma cleaner con il miscelatore di gas a due canali dalle opzioni del prodotto o Fare clic sull'immagine a sinistra per il miscelatore di gas a due canali. 
Dimensioni
    • 400 mm L × 300 mm L × 300 mm H
    • 16" x 12" x 12" (pollici)
    Peso netto   30 libbre
    Peso e dimensioni di spedizione
    • 140 libbre
    • 40 "x30 "x23"
    Garanzia   Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (nessuna garanzia per la camera in vetro Pyrex)
    Nota applicativa   La pressione positiva può danneggiare Camera al quarzo al plasma. 
    Manuale operativo      
              
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