Portacampioni per forno RTP - EQ-RTP-ACC-01

Caratteristiche:

• Regge prontamente wafer da 3" senza morsetti.
• Quarzo, stabilità d'uso sotto i 1200ºC.
• Facile da caricare e scaricare i campioni.
  Ordinare un wafer di AlN o grafite da 3" di diametro come piastra inferiore (fare clic sulle immagini sottostanti per ordinare).