MTI  |  SKU: OTF1200XIIIR5-PECVD

Forno tubolare rotante da 5" con alimentazione e ricezione per PE-CVD in polvere e pulizia - OTF-1200X-III-R5-PECVD

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Forno tubolare rotante da 5" con alimentazione e ricezione per PE-CVD in polvere e pulizia - OTF-1200X-III-R5-PECVD

MTI

OTF-1200X-III-R5-PECVD è un 1200ºC Sistema rotante a tre zone per la deposizione di vapore chimico potenziata da plasma (R-PE-CVD), progettato per il rivestimento della superficie della polvere per formare particelle con struttura a guscio centrale a una temperatura relativamente bassa, e per la pulizia della superficie della polvere. La temperatura, la potenza del plasma e il gas MFC a 4 canali sono controllati da un pannello touch screen e da un computer portatile per un facile utilizzo.

SPECIFICHE:

Struttura del sistema

  • Telaio inclinabile da 0 a 25° per favorire la scorrevolezza della polvere carico/scarico della polvere
  • L'alimentatore RF integrato da 300 W (13,56 Mhz) con rete di adattamento consente la lavorazione al plasma, riducendo in modo significativo la necessità di processi ad alta temperatura.
  • La rotazione del tubo a ingranaggi consente di "miscelare" le polveri per ottenere la migliore uniformità di lavorazione. 
  • Le stazioni di miscelazione del gas a quattro canali con MFC forniscono un controllo preciso dell'erogazione del gas
  • L'alimentatore e il ricevitore di polveri a tenuta d'aria sono inclusi per la lavorazione continua di vernici in polvere fino a 1000 g.   

Forno rotante a tre zone


  • Temperatura di lavoro: 1200ºC max (<1 ora) e 1100ºC per il riscaldamento continuo 
  • Tre regolatori di temperatura digitali con 30 segmenti programmabili e precisione di +/-0,1 oC.
  • Potenza in ingresso: 208 - 240VAC, monofase a max. 4,0 KW.
  • Il coperchio diviso in due consente un raffreddamento più rapido e un funzionamento più semplice
  • Tre zone di riscaldamento: 6"+ 12"+ 6", totale 24" ( 609 mm)
  • Zona a temperatura costante:  480 mm di lunghezza +/-2ºC
  • Il motore DC a ingranaggi aziona il tubo di quarzo a velocità variabile 2 - 10 RPM
Alimentazione al plasma RF
 
 
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con stabilità di ± 1%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità.
  • Potenza di riflessione: 100W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB.
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
Tubo al quarzo
     
    • È incluso un tubo di lavorazione al quarzo fuso con diametro di 5'' appositamente progettato.
    • Fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le dimensioni
               
    Flange di tenuta

      
    • Una coppia di flange a sgancio rapido da 1'' O.D con attacco KF25 sono installate su ciascuna estremità del tubo.
    • Il giunto girevole magnetico a tenuta di fluido è utilizzato per consentire la rotazione del tubo senza attorcigliare la linea di fuoco o gli attacchi a valle (come le linee di erogazione del gas, della polvere e dell'elettricità).
             Set di flange sinistro       Set flangia destra
    Velocità di rotazione del tubo
    • 0 - 5 RPM variabile
    Angolo di inclinazione del forno
    • 0~25°
    Pompa del vuoto e manometro
     
    • La pompa del vuoto a doppio stadio ad alte prestazioni EQ-FYP è inclusa nella vendita; fare clic sull'immagine a sinistra per visualizzare le specifiche dettagliate.
    • Adattatore KF25 ee soffietto in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo.
    • È possibile ottenere un vuoto di 10E-2 Torr all'interno del tubo di lavorazione.   
    • Nota: Vacuometro è disponibile a un costo aggiuntivo, fare clic su sottolineatura e per ordinare


    Stazione di miscelazione gas MFC
      
    • Quattro misuratori di portata massica di precisione (accuratezza dello 0,02%) con display digitale sono installati sulla cassa inferiore per controllare automaticamente la portata del gas. 
      • MFC 1: Gamma di flusso del gas da 0 a 100 SCCM
      • MFC 2&3: Campo di controllo da 0~200 SCCM  
      • MFC 4: Campo di controllo da 0~500 SCCM
    • Raccordi di ingresso/uscita del gas: Raccordo per tubo da 6 mm O.D.
    • Alimentazione: 208-240VAC 50/60Hz
    • Valvole a spillo in acciaio inox per il controllo manuale ON/OFF dell'alimentazione del gas.
    • Il controllo touchscreen del PLC di grandi dimensioni consente di impostare facilmente la portata.
    Alimentatore volumetrico e serbatoio di raccolta 
       
     
      Fig.1 Fig.2
    • Il dosatore automatico EQ-PF-1S comprende un agitatore a motore e una tramoggia in acciaio inox con vibratore incorporato. È progettato perl'alimentazione di polveri solide in un forno per la cottura/trattamento termico continuo con velocità di alimentazione regolabile da 0 a 97 ml/minuto. Fare clic sull'immagine 1 a sinistra 
    • Il serbatoio di raccolta in acciaio inox (capacità 2 litri) può essere installato all'altra estremità del tubo di lavorazione per raccogliere la polvere cotta senza esporla all'aria. Cliccare sull'immagine 2 a sinistra per vedere i dettagli.
    Dimensioni e peso

    • Forno: 2800 mm di lunghezza x 800 mm di larghezza x 1700 mm di altezza (con il coperchio aperto); Stazione di miscelazione del gas: 600 mm di lunghezza x 850 mm di larghezza x 700 mm di altezza; le misure sono misurata approssimativamente.
    • Peso netto: 400 libbre.
    • Peso di spedizione: 500 libbre.
    Garanzia
    Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio nei prodotti correlati sotto).
    Computer portatile, software di controllo (opzionale)
    • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato.
    • Il software integrerà il controllo della temperatura, il controllo del gas MFC e il controllo del plasma per il funzionamento a distanza.
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    Conformità

    • Certificazione CE
    • La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento. 
                      
    • I forni tubolari sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,02 Mpa 
    • Non riscaldare mai il forno mentre la valvola di rilascio del gas è chiusa e nella camera del forno è presente una condizione di pressione positiva. Il manometro deve essere utilizzato per monitorare attentamente le condizioni della camera in ogni momento del processo di riscaldamento; aprire immediatamente la valvola di rilascio del gas una volta che la pressione della camera ha superato i 3 PSI per evitare danni imprevedibili.