Struttura del forno |
- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. La temperatura superficiale dell'involucro è < 70°C.
- Rivestimento isolante in allumina fibrosa refrattaria per il massimo risparmio energetico.
- Elemento riscaldante: Filo di resistenza NiCrAl
- Sono inclusi due blocchi di tubi in ceramica fibrosa per bloccare l'irradiazione del calore dall'interno del tubo. (I blocchi di ceramica devono essere inseriti completamente nella camera del forno prima del riscaldamento.)
- Sono inclusi tipi di flange a tenuta di vuoto incernierate per raggiungere un livello di vuoto di 10-5 torr mediante una turbopompa.
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Supporto per wafer da 8 pollici
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Zona di riscaldamento |
- Lunghezza totale della zona di riscaldamento 1200 mm
- Quattro zone: 300 mm + 300 mm + 300 mm + 300 mm (24" per zona)
- Zona a temperatura costante:
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1000 mm (se tre zone sono in stessa temperatura entro +/- 3°C) direzione longitudine
- 1100 mm (se tre zone hanno la stessa temperatura entro +/- 5°C) direzione longitudine
- +/- 3 oC lungo la sezione trasversale
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Temperatura di lavoro
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- Temperatura massima di riscaldamento: 1150°C ( < 1 ora )
- Temperatura di lavoro normale: 200~1100°C
- Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 5°C/min
- Uniformità della temperatura: fare clic sull'immagine a sinistra per ingrandirla
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Controllo della temperatura |
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Tubo di trattamento |
- Tubo di quarzo di alta qualità con OD 600 mm x ID 590 mm x L 1500 mm
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Sigillatura a vuoto e flangia
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Una coppia di acqua fredda La flangia di tenuta sottovuoto SS (tipo a cerniera) e 4 pezzi di O-ring in silicone sono inclusi.
Flangia laterale sinistra: Vacuometro, valvole a spillo in acciaio inox e raccordo per tubo flessibile spinato da 1/4".
Flangia laterale destra: Porta del vuoto KF40 con KF-40 Vuoto ad angolo retto per un facile collegamento al soffietto e alla pompa KF40. (Se si utilizza una pompa con porta KF25, è necessario un adattatore KF40-KF25.
- Una porta da 1/4" OD per l'accoppiamento termico è integrata nella flangia per facilitare la calibrazione della temperatura.
- Livello di vuoto: 10-2 torr con pompa meccanica per impieghi gravosi e 10-4 torr con turbopompa normale. 5x10-6 torr può essere raggiunto con turbopompe ad alta velocità da 700 L/s e un adattatore flangiato modificato.
- Refrigeratore d'acqua a ricircolo 16L/minis incluso per il raffreddamento delle flange
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Opzioni per CVD
Clicca per ingrandire
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- Il forno a tubi deve essere calibrato regolarmente per mantenere la precisione e l'uniformità della temperatura. Vi forniamo un semplice kit di calibrazione per completare questo lavoro a un costo aggiuntivo Il kit di calibrazione completo comprende (fare clic sulla sottolineatura per visualizzare i dettagli):
- È possibile ordinare una turbopompa per vuoto spinto fino a 10-5 torr (fare clic sull'immagine 1 per ordinare).
- Per le applicazioni CVD, potrebbe essere necessario un sistema di erogazione del gas come in figura 2. 2
- Per i gas infiammabili, in particolare l'H2, è possibile integrare un rilevatore di perdite di gas nel pannello di controllo, come nella figura 3.
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Fig. 1 Fig. 2 Pc. 3
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Tensione nominale |
- Trifase, 220 V CA, 50/60 Hz
- Consumo di energia: ~50 KW
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Dimensione del prodotto |
2000 L x 900 W x 1200 H mm |
Peso netto |
400 kg
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Dimensioni di spedizione
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80" x 40" x 70" |
Peso di spedizione
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1000 libbre
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Garanzia |
- Garanzia limitata di un anno per le parti elettriche. (Le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e i tubi di quarzo non sono coperti dalla garanzia).
- È possibile ordinare un tubo al quarzo di ricambio al seguente link
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Conformità |
- Certificazione CE
- La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta, si applicano costi aggiuntivi
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NOTA |
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Istruzioni per il funzionamento |
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Attenzione
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi
- Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare sull'installazione di un regolatore di gas.
- Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C
- La portata dei gas deve essere limitata a<200 SCCM per ridurre gli shock termici al tubo.
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