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MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-50-PEMSL

Forno tubolare PECVD a due zone da 1200 C max (50 mm OD) con preriscaldatore e scorrimento automatico - OTF-1200X-II-50-PEMSL

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Forno tubolare PECVD a due zone da 1200 C max (50 mm OD) con preriscaldatore e scorrimento automatico - OTF-1200X-II-50-PEMSL

MTI

OTF-1200X-II-50-PEMSL è un sistema di forno tubolare PE-CVD a due zone che consiste in una sorgente di plasma RF da 300W, un meccanismo di scorrimento a velocità controllata, un preriscaldatore per la sublimazione del materiale solido e una pompa del vuoto oil-less di alta qualità. Questo forno PE-CVD è un nuovo strumento per la crescita di nanofili e per il rivestimento CVD di un'ampia gamma di materiali con i seguenti vantaggienefici:
  • È richiesta una temperatura di lavorazione inferiore rispetto alla CVD convenzionale.
  • Elevata velocità di riscaldamento e raffreddamento grazie a un forno scorrevole
  • Doppia zona di riscaldamento per creare un gradiente termico fino a 500ºC 
  • 1100ºC Temperatura massima di lavoro nel forno tubolare
  • 1100ºC Temperatura massima di esercizio nel preriscaldatore per il riscaldamento della fase vapore o l'evaporazione di materiali solidi
  • Raffreddamento e riscaldamento rapidi per la crescita di materiali 2D
SPECIFICHE:
Forno a doppia zona a tubo diviso 
  • Max 1100ºC per riscaldamento continuo
  • Due termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Due zone di riscaldamento controllate e separate
    • Lunghezza di 200 mm per ogni zona di riscaldamento
    • 400 mm di lunghezza totale di riscaldamento
    • 250 mm di area di riscaldamento a temperatura centrale costante se entrambe le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura
    • 500ºC massima differenza di temperatura tra due zone con blocchi termici intermedi
  • Potenza in ingresso: 208 - 240V AC, monofase a max. 4KW

Alimentazione al plasma RF
 
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con stabilità di ± 1%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità.
  • Potenza di riflessione: 200W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB.
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
Forno di preriscaldamento
  • Forno a tubo piccolo con zona di riscaldamento singola di 200 mm di lunghezza
  • Temperatura massima:  1100ºC
  • Controllo della temperatura programmabile a 30 segmenti
  • Il vapore passa attraverso il riscaldatore prima di entrare nel generatore di plasma RF.
  • È possibile inserire materiale solido nel riscaldatore per l'evaporazione e la miscelazione con la fase di vapore.
  • Tubo di quarzo: 50 mm OD x 44 mm ID x 2200 mm L (il tubo da 80 mm OD è disponibile su costo aggiuntivo
  • Flangia per il vuoto: inclusa 
  • Tubi di quarzo
Manometro anticorrosione
  • 3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura
  • Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas 
  • Elevata precisione e riproducibilità all'atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica
  • Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo
  • Elemento sensore plug & play facile da sostituire
  • Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate.
Stazione della pompa del vuoto e valvole 
 
  • Pompa meccanica a doppio stadio per impieghi gravosi da 240 l/m è installata all'interno del carrello mobile per impieghi gravosi
  • L'adattatore KF25 e il tubo in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con una valvola a sfera di precisione per il plug-and-play del cliente.
  • 10E-2 Torr è possibile ottenere il vuoto all'interno del tubo di lavorazione
 
Meccanismo di scorrimento
  • La guida di scorrimento e le viti sono integrate nel forno inferiore, che può spostarsi da un lato all'altro come programma per ottenere un riscaldamento o un raffreddamento più rapido.
  • La velocità di scorrimento è regolabile da  0-70 mm/s

Velocità di riscaldamento e raffreddamento
  • La porta RS485 e il software sono installati e consentono il controllo remoto del profilo di temperatura tramite PC (non incluso, il cliente può ordinarne uno da qui)
  • Per ottenere la massima velocità di riscaldamento, l'utente deve preriscaldare il forno alla temperatura desiderata, quindi far scorrere il forno nella zona del campione della provetta.
  • Per ottenere la massima velocità di raffreddamento, spingere il forno riscaldato dalla zona calda alla zona fredda.
Velocità di riscaldamento: 
15°C/sec (RT - 150°C);
10°C/sec (150°C - 250°C);
7°C/sec (250°C - 350°C);
4°C/sec (350°C - 500°C);
3°C/sec (350°C - 550°C);
2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0,5°C/sec (800°C - 1000°C);
Velocità di raffreddamento:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1,5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0,5°C/sec (400°C - 300°C);




Opzionale


                    
  • In opzione sono disponibili da due a quattro misuratori di portata massica di precisione (accuratezza dello 0,02%) con display digitale, che possono sostituire la cassa inferiore per controllare automaticamente la portata del gas con il sistema. Fare clic sull'immagine sottostante per sceglierne uno adatto al proprio budget.
  • Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per ordinare un gorgogliatore o un evaporatore per CVD, e in basso a destra per il Modulo di controllo della temperatura costante
                            
 

Dimensioni complessive
  • Forno: 550 x 380 x 520 mm 
  • Binario di scorrimento: doppio binario con lunghezza di 1750 mm
  • Due guide adiacenti Fondo Mobile Custodie: 1200 x 1200 x 1200 mm.
  • Peso netto: 220 libbre.
  • Peso di spedizione: 1200 libbre.
Garanzia
Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
Computer portatile e software (opzionale)
  
  • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) da utilizzare immediatamente.
  • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente all'utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico e registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
Conformità
  • Certificazione CE 
  • La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
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