MTI | SKU: OTF1200XIIF3LV80

Forno tubolare al quarzo a doppia zona (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-II-F3LV

Name: Forno tubolare al quarzo a doppia zona (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-II-F3LV
Brand: MTI
SKU: OTF1200XIIF3LV80
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Forno tubolare al quarzo a doppia zona (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-II-F3LV

MTI

OTF-1200X-II-F3LV è un Certificato CE e pronto a superare la certificazione UL/CSA Dual Zone Split Tube Furnace con un tubo di quarzo di 80 mm di diametro, pompa per vuoto meccanica e sistema di flusso di gas a tre canali. Può raggiungere un vuoto massimo fino al 10^-2 torr e miscelare 1-3 tipi di gas per la CVD o la diffusione. Questo sistema di forno comprende anche un misuratore a membrana capacitivo Pirani anticorrosivo per consentire la misurazione del vuoto con gas aggressivi.

SPECIFICHE

Costruzione del forno	Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. Il termostato incorporato aziona automaticamente il sistema di raffreddamento quando la temperatura dell'involucro è superiore a 55°C. > 55°C.
Consumo di energia	2,5 KW
Tensione d'ingresso	AC 208-240V monofase, 50 o 60 Hz
Temperatura massima	1200 °C
Temperatura di lavoro continua	1100 °C
Lunghezza della zona di riscaldamento	Due zone: 200 mm (8") per ciascuna zona e lunghezza totale della zona di riscaldamento di 400 mm
Zona a temperatura costante	Se due zone sono impostate alla stessa temperatura, la zona a temperatura costante è lunga 250 mm (10") con una discrepanza di temperatura di +/- 1 °C. Se si utilizza una sola zona (zona centrale), la zona a temperatura costante è lunga 110 mm (4,3") con una differenza di temperatura di +/- 1°C.
Velocità di riscaldamento max. Velocità di riscaldamento	<= 20 °C /min (20 °C /min sotto gli 800°C; <5 °C /min sopra i 1000°C)
Precisione della temperatura	+/- 1°C
Elementi di riscaldamento	Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
Regolatori di temperatura	Due regolatori di temperatura di precisione per controllare due zone separatamente. Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza. Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia. La protezione e l'allarme di sovratemperatura consentono il funzionamento senza personale di assistenza. Precisione di temperatura di +/- 1 ºC. Porta di comunicazione RS485. Opzionale: Il forno può essere comandato da un PC installando due moduli di controllo. Ordinare il modulo Moduli di controllo MTS-02 con un costo aggiuntivo. La nuova versione del modulo PC è ora compatibile con Lab View 05/08/2014 Se ordinate il modulo di controllo per PC insieme al forno, vi forniremo installare e testarlo prima della spedizione. Vi consigliamo di ordinare un computer portatile da noi per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni fare clic qui.
Dimensioni e materiali dei tubi	Tubo di quarzo: 80 OD x 72 ID x 1000 L
Misuratore di vuoto digitale	Calibro a membrana capacitiva resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, appositamente progettato per le misure del vuoto in presenza di gas corrosivi. Il misuratore viene installato sulla flangia del vuoto (lato destro) del forno a tubi e fornisce un ampio campo di misura (10^^-5 ~ 1000 torr) Opzionale: fare clic sul pulsante qui sotto per ordinare il Modulo di controllo della temperatura costante.
Flange di tenuta a vuoto	Due flange in acciaio inox con porta KF25, manometro e valvole incluse. La pressione minima del vuoto ottenuta con una pompa meccanica è di 5,5 m-torr. (5.5x10^^-3 torr). La pressione può raggiungere i 10^-5 torr utilizzando pompe meccaniche + molecolari. Il tasso di perdita è < 5 m-torr/min e la pressione stabile del vuoto dopo 24 ore è < 2 torr. Fare clic sull'immagine sottostante per ottenere i dettagli di entrambi i grafici e i dati misurati dal vacuometro certificato CE: Nota: per la visualizzazione della curva di 24 ore, il segmento di tempo compreso tra le 08:00:00 e le 21:10:00 sull'asse X viene saltato nel grafico; pertanto, è presente una forte variazione.
Monitoraggio dell'ossigeno	Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione con un costo aggiuntivo. Per saperne di più, fare clic sull'immagine sottostante:
Pompa per vuoto	156 L/m Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio con filtro di scarico (220V monofase) e tubo flessibile in acciaio inox sono per il collegamento al forno a tubi. Massima archiviabilità pressione del vuoto è di 10^^-2 torr. Opzione: Per un controllo preciso della pressione del vuoto, vi consigliamo di scegliere la nostra soluzione "chiavi in mano". EQ-VPC-MV. Si tratta di un sistema di regolazione della pressione del vuoto con valvola motorizzata e manometro. Controlla un intervallo di pressione compreso tra 10^-6 torr e 760 torr.
Stazione di controllo della miscelazione dei gas	Tre misuratori di portata del gas (precisione del 4% FS) sono installati all'interno della cassa mobile per consentire il monitoraggio delle portate di gas (tre diversi tipi di gas in totale). 1) Flussimetro compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min. 2) Flussimetro compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min. 3) Flussimetro compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min. Un misuratore di pressione è installato all'interno del carrello mobile, in grado di monitorare la pressione del serbatoio di miscelazione.
Valvole	Quattro valvole in acciaio inox sono installate nel pannello laterale del carrello mobile per controllare la miscelazione di tre gas in ingresso separatamente
Dimensioni	Forno: 550 x 380 x 520 mm Cassa mobile inferiore: 600 x 600 x 597 mm Ciascuno
Peso netto	~ 60 kg
Peso di spedizione	750 libbre
Dimensioni di spedizione	Tre pallet: 48 "x40 "x45" ciascuno
Garanzia	Garanzia limitata di un anno del produttore (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)	Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 11 e Microsoft Office 2013 (3