Forno tubolare a tre zone (4") con pompa del vuoto (1,0E-4 torr) + 9 canali di flussimetri digitali per gas CVD - OTF-1200X-4-III-9HV

OTF-1200X-4-III-9HV è un forno tubolare a tre zone con diametro di 4", certificato CE, dotato di pompa del vuoto (fino a 10-4 torr) e di un sistema di controllo del gas con 9 canali PLC Touch Panel e misuratori digitali di portata massica di precisione, in grado di controllare nove tipi di gas per CVD o diffusione.(Aggiornato con il sistema di controllo del gas PLC Touch Panel dal 3 agosto 2015).

Specifiche

Forno	Struttura	Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. Rivestimento in fibra di allumina ad alta purezza per un funzionamento efficiente dal punto di vista energetico. Tre zone di riscaldamento con tre regolatori di temperatura indipendenti. Il sistema di miscelazione del vuoto e del gas si trova nella parte inferiore Carrello mobile con 4 ruote.
	Elemento di riscaldamento	Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
	Temperatura massima di riscaldamento Temperatura di riscaldamento max.	1200°C
	Temperatura di riscaldamento continuo	1100°C
	Max. Velocità di riscaldamento	<=20°C/min
	Lunghezza zona di riscaldamento	Tre zone: (880 mm, 35" in totale) Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
	Temperatura costante Zona	Lunghezza 500 mm (tre zone a temperatura costante entro +/- 1°C)
	Dimensioni e materiali del tubo	Tubo in quarzo fuso 100 mm O.D. x 92 mm ID. x 1400 mm
	Regolatore di temperatura Controllore	Tre termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti, che controllano ogni zona di riscaldamento separatamente. PID regolabile con funzione di autotuning per garantire la stabilità della temperatura entro +/- 1 oC. Protezione completa in ogni regolatore per la sovratemperatura e la rottura della coppia termica.
	Termocoppia	Tre termocoppie di tipo K
	Ingresso alimentazione	CA 208~240V, monofase, 50/60Hz, 7KW max.
Raccordi a vuoto	Gli accessori per il vuoto standard comprendono: Due flange per vuoto in acciaio inox con connettore per pompa KF-25, due valvole a spillo e un connettore per tubo Swagelok da 1/4". Sei pezzi di O-ring in silicone per alte temperature da utilizzare sotto i 300°C. Sono incluse due coppie di termoblocchi in allumina per proteggere la flangia dalle radiazioni termiche. Un soffietto per vuoto KF-40 Tre morsetti rapidi KF-40. Due morsetti rapidi KF-25.
Stazione HV Stazione per alto vuoto	Struttura	Dimensioni del carrello mobile: 600 (L) x 600 (L) x 700 (H), mm Carico max. Carico: 600 libbre sulla parte superiore Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale Interno: Pompa per vuoto Pfeiffer Prodotto in Germania Il sensore del vuoto è incluso
	Sensore di vuoto	Il sensore di vuoto ha un connettore KF-25. Misuratore di alto vuoto (campo di misura 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
	Pannello di controllo	Funzionamento con un solo pulsante - la pompa a membrana e la pompa turbomolecolare si avviano dopo aver premuto il pulsante "start". Velocità di rotazione controllata dal sistema - il controller controlla la velocità di rotazione della turbina in base al livello di vuoto e alla velocità di fuoriuscita della camera di reazione. Autoprotezione - il sistema protegge la pompa da danni dovuti al surriscaldamento e alla sovracorrente se il tasso di perdita della camera di reazione è troppo alto per raggiungere il vuoto elevato. Schermo LCD - controllo dei parametri a doppia riga intinterfaccia facilitano la gestione del lavoro. Autodiagnosi Filatura Segnalazione di errori Voltmetro  Velocità massima
	Volume Portata	Azoto N2 33 L/s Elio He 39 L/s (2340L/minuto) Idrogeno H2 32 L/s
	Campo di lavoro	Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
	Pressione finale	10^-5 torr (con forno a tubi)
	Potenza assorbita	110V CA o 220V CA commutabile, 50/60Hz
	Consumo di energia	Durata/Potenza massima: 100/110Watt
Stazione MFC Controllore di flusso di massa	9 misuratori di portata massica di precisione sono installati nel carrello mobile inferiore con il pannello di visualizzazione digitale del +/-1,5% del fondo scala. Controllore 1: 0~100 SCCM Controllore 2: 1~199 SCCM Controllore 3: 1~199 SCCM Controllore 4: 1~499 SCCM Controllore 5-9: l'intervallo di misurazione può essere personalizzato su richiesta. Il campo di controllo della portata è disponibile per la personalizzazione. Contattateci per informazioni dettagliate.
Parti opzionali	Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD
Collegamento del tubo del gas	Uno Tubo Swagelok da 1/4" da collegare è installato nella flangia sinistra come ingresso del gas. Ogni stazione MFC è dotata di quattro raccordi per tubi Swagelok da 1/4". E quattro valvole on/off per ogni percorso del gas. La quinta viene utilizzata come uscita del gas. Il tubo del gas in PTFE da 1/4" è incluso nella confezione standard. [Se è necessario un tubo del gas da 1/4" in acciaio inox, fare clic qui per ordinarlo.
Informazioni sulla spedizione	Dimensioni	Forno: 550 x 380 x 520 mm Stazione MFC: 600 x 600 x 700 mm Stazione HV: 600 x 600 x 700 mm
	Peso	Peso netto: 100Kg Peso di spedizione: 350 lb (due pallet)
Garanzia	Garanzia limitata di un anno (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
Conformità	Certificato CE/UL/CSA Selezionare il certificato nella barra delle opzioni: Certificato CE e UL/CSA pronto a passare il certificato UL/CSA con un costo aggiuntivo. Certificato UL - Approvazioni UL (UL 61010)
Avvertenze Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas	I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso in condizioni di vuoto e bassa pressione < 0,12 MPa (pressione assoluta). Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo. Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in modo sicuro solo fino a 1000°C.
Istruzioni per il funzionamento	Istruzioni per il test rapido