MTI  |  SKU: OTF1200XIIH2

Forno tubolare a due zone a 1200°C max. Forno tubolare da 80 mm OD con evaporatore di liquidi, rilevatori di umidità e H2 e valvola di intercettazione - OTF-1200X-II-80HG-UL

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Forno tubolare a due zone a 1200°C max. Forno tubolare da 80 mm OD con evaporatore di liquidi, rilevatori di umidità e H2 e valvola di intercettazione - OTF-1200X-II-80HG-UL

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  OTF-1200X-II-80HG-UL è un forno tubolare a due zone di riscaldamento con controllo del flusso di gas a due canali, evaporatore liquido, monitor di umidità e rilevatore di perdite di idrogeno gassoso. Questo sistema è progettato per la ricerca sulla corrosione a caldo o per il trattamento CVD con idrogeno gassoso in condizioni di umidità controllata. Una delle due linee del gas CVD passa attraverso l'evaporatore di liquidi e contribuisce all'erogazione del vapore liquido. Il monitor digitale di precisione dell'umidità può misurare il contenuto d'acqua con una precisione di +/-1,5%FS. Il monitor dell'idrogeno Honeywell chiude immediatamente la valvola di ingresso dell'idrogeno gassoso quando rileva perdite di idrogeno gassoso. 
SPECIFICHE
Costruzione del forno
  • Involucro a doppio guscio con ventole di raffreddamento
  • Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza per il massimo risparmio energetico
  • Il coperchio diviso in due consente un raffreddamento più rapido e un funzionamento più semplice
  • Un rilevatore di idrogeno e una valvola a solenoide sono inclusi per le misure di sicurezza 
  • L'evaporatore liquido è riscaldabile con controllo della temperatura per produrre una miscela di idrogeno e vapore liquido.
  • Il forno a idrogeno gassoso deve essere posizionato sotto una cappa aspirante, non inclusa. 
Potenza
 4 KW Max
Tensione d'ingresso
 AC 208 - 240V monofase (è necessario un interruttore da 30A)
Elementi di riscaldamento
 FeCr27Al7MO2
Lunghezza della zona di riscaldamento
  • Due zone di riscaldamento: 8" (200 mm) lunghezza di ogni zona, 16" (400 mm) totale
  • Zona a temperatura costante: 150 mm entro +/- 1oC quando due zone sono impostate alla stessa temperatura
Uniformità della temperatura
 +/- 1°C nella zona di riscaldamento
Continuo Temperatura di lavoro
 1100°C 
Velocità di riscaldamento consigliata
 10°C /min
Lavorazione di tubi e flange
  • Tubo di quarzo ad alta purezza:  ?80 (OD)×?74 (ID) ×1000 L, mm
  • Flangia per il vuoto: Le flange SS304 sono incluse per ottenere il vuoto fino a 10^ - 5 torr tramite turbopompa.
Regolatori di temperatura     
  • Due regolatore di temperatura digitalecon 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza.
  • Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta.
  • Sovratemperatura protezione da sovratemperatura e allarme consentono il funzionamento senza operatore.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • La porta RS485 è installata nella parte anteriore del pannello per il collegamento al PC.
  • Il modulo di controllo per PC e il software sono inclusi per il controllo computerizzato della temperatura. Fare clic qui per consultare le informazioni dettagliate.
Misuratore di portata a galleggiante
  • Due flussimetri da 50-500 ml/min sono montati sugli ingressi del gas. 
  • Un flussometro è destinato all'erogazione di idrogeno, mentre l'altro è destinato principalmente al gas CVD con vapore liquido.
  • Il flussimetro supplementare è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
  • Potete prendere in considerazione l'utilizzo del nostro stazione di consegna del gas MFC 1 - 9 canali per un controllo più accurato del gas 
Gorgogliatore/ Evaporatore liquido
  • L'evaporatore di liquidi è adatto per l'erogazione di sorgenti liquide e precursori chimici nei processi CVD.
  • È incluso un contenitore in acciaio inox con una capacità di 600 ml (80OD x 200H, mm).
  • Il contenitore è inserito in un piccolo riscaldatore cilindrico con isolamento termico.
  • Il contenitore può essere riscaldato fino a 250°C e controllato da un regolatore di temperatura programmabile.
  • Il contenitore è dotato di due valvole a spillo SS e di un manometro (per i dettagli, fare clic sull'immagine a sinistra).
Monitoraggio dell'umidità 
  • Un monitor di umidità di precisione è collegato alla flangia del tubo di lavorazione con l'adattatore KF25.
  • Campo di misura: 0 - 100% RH con precisione 1,5%FS, oppure -60º ~ +60º DP con +/-0,3º.
  • Suggerimenti: È possibile regolare la temperatura dell'evaporatore (acqua interna) e la portata del gas H2 per ottenere il livello di umidità desiderato.
Sistema di rilevamento dell'idrogeno
   (incluso)
  • Intervallo di temperatura di lavoro: Da 40ºF a +149ºF (da -40ºC a +65ºC)
  • Punto di allarme: H2 Linea esplosiva limitata al 20% (20% LEL). Una volta rilevato il gas H2 oltre il punto, il sistema chiude automaticamente la valvola di ingresso dell'H2.
Opzioni di aggiornamento
  • Capacità anticorrosiva Calibro a membrana  per misurare la pressione del vuoto ( cliccare sulla foto 1 )
  • È disponibile anche un miscelatore di gas multicanale con un regolatore di portata massica di precisione. ( clicca foto 2 )
  • Una pompa a secco è altamente raccomandata per LPCVD, soprattutto se il gas di trasporto è infiammabile. (fare clic sull'immagine 3)
   Foto. 1   Foto. 2    Figura 3 3
Garanzia Garanzia limitata di un anno (le parti consumabili come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia).
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
Dimensioni del forno
1400×600×1200 mm 
Peso netto del prodotto
100Kg
Istruzioni per il funzionamento
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