Modello |
GSL-1100X-8.5-III |
GSL-1100X-11-III |
Dimensioni del tubo di quarzo fuso
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- Tubo di quarzo ad alta purezza
- Attenzione: il tubo di quarzo è fragile, si prega di maneggiarlo con cura. La garanzia non copre il tubo rotto dall'uso
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Dimensioni: 216 O.D x 206 I.D x 1300mm L (8,5" O.D x 8,1" I.D x 51" L)
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Dimensioni: 279 O.D x 269 I.D x 1300mm L (11" O.D x 10,6" I.D x 51" L)
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NOTA: I clienti devono definire una dimensione del tubo prima dell'acquisto. È molto difficile cambiare la dimensione del tubo in seguito, perché i rivestimenti della camera devono essere sostituiti per adattarsi alle diverse dimensioni del tubo.
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Barchette di quarzo (opzionali) |
Max. Compatibile con la barca di wafer da 6
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Compatibile con i wafer da max. Compatibile con wafer boat da 8
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. La temperatura superficiale dell'involucro è < 70°C.
- Rivestimento isolante in allumina fibrosa refrattaria per il massimo risparmio energetico.
- Elemento riscaldante: Filo di resistenza NiCrAl
- Sono inclusi due blocchi di tubi in ceramica fibrosa per bloccare l'irradiazione del calore dall'interno del tubo. (I blocchi di ceramica devono essere inseriti completamente nella camera del forno prima del riscaldamento.)
- Questo forno può essere utilizzato come forno di ricottura o di diffusione per wafer da 8" e utilizza una barca di quarzo nel prodotto correlato qui sotto.
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Supporto per wafer da 8
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Zona di riscaldamento |
- Lunghezza totale della zona di riscaldamento 900 mm (36")
- Tre zone: 300 mm + 300 mm + 300 mm (12" per zona)
- Zona a temperatura costante:
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750 mm (se tre zone sono in stessa temperatura entro +/- 3°C) direzione longitudine
- 600 mm (se tre zone hanno la stessa temperatura entro +/- 1°C) direzione longitudine
- +/- 3 oC lungo la sezione trasversale
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Temperatura di lavoro
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- Temperatura massima di riscaldamento: 1100°C ( < 1 ora )
- Temperatura di lavoro normale: 200~1000°C
- Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 10°C/min
- Uniformità della temperatura: fare clic sull'immagine a sinistra per ingrandirla
- Opzionale: se si utilizza il tubo di quarzo speciale GE, la temperatura di lavoro può raggiungere i 1150°C sotto vuoto con un costo aggiuntivo.
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Controllo della temperatura
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Sigillatura sottovuoto e flangia
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Sono inclusi una coppia di flange di tenuta sottovuoto SS ad acqua fredda (tipo a cerniera) e 4 pezzi di O-ring in silicone.
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Flangia sinistra: Vacuometro, valvole a spillo in acciaio inox e raccordo per tubo flessibile spinato da 1/4".
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Flangia laterale destra: Porta del vuoto KF40 con KF-40 Vuoto ad angolo retto per un facile collegamento al soffietto e alla pompa KF40. (Se si utilizza una pompa con porta KF25, è necessario un adattatore KF40-KF25.
- Una porta da 1/4" OD per l'accoppiamento termico è integrata nella flangia per facilitare la calibrazione della temperatura.
- Livello di vuoto: 10-2 torr con pompa meccanica per impieghi gravosi e 10-4 torr con turbopompa normale. 5x10-7 torr può essere raggiunto con turbopompe ad alta velocità da 700 L/s e un adattatore flangiato modificato.
- Refrigeratore d'acqua a ricircolo 16L/minis incluso per il raffreddamento delle flange
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Opzioni
Clicca per ingrandire
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Il forno a tubi deve essere calibrato regolarmente per mantenere la precisione e l'uniformità della temperatura. Vi forniamo un semplice kit di calibrazione per completare questo lavoro a un costo aggiuntivo Il kit di calibrazione completo comprende (fare clic sulla sottolineatura per visualizzare i dettagli):
- È possibile ordinare una turbopompa per vuoto spinto fino a 10-5 torr (fare clic sull'immagine in basso a destra per ordinare).
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Tensione nominale
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- Monofase, 220 V CA, 50/60 Hz
- AWG 8# Il cavo di alimentazione è incluso (senza spina)
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Consumo di energia
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Max. 8KW (è necessario un interruttore da 50A)
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Dimensioni del prodotto
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1879 L x 680 W x 920 H mm (74" L x 24,5" W x 37" H) |
Peso netto
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200 kg
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Dimensioni di spedizione
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80" x 40" x 70" |
Peso di spedizione
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800 libbre
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Garanzia
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- Garanzia limitata di un anno per le parti elettriche. (Le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e il tubo di quarzo non sono coperti dalla garanzia).
- È possibile ordinare un tubo di quarzo di ricambio al seguente link
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Computer portatile, software (opzionale)
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- Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita)
- Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente all'utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
- Il telecomando wireless offre un raggio d'azione fino a 300 metri.
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Conformità
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- Certificazione CE
- La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta, si applicano costi aggiuntivi
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NOTA
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Istruzioni per il funzionamento |
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Attenzione
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi
- Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
- Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C
- La portata dei gas deve essere limitata a<200 SCCM per ridurre gli shock termici al tubo.
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