Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. La temperatura superficiale dell'involucro è < 70°C.
- Rivestimento isolante in allumina fibrosa refrattaria per il massimo risparmio energetico.
- Elemento riscaldante: Filo di resistenza NiCrAl
- Sono inclusi due blocchi di tubi in ceramica fibrosa per bloccare l'irraggiamento del calore dall'interno del tubo.
- Flangia a cerniera con acqua fredda per facilitare il caricamento dei campioni.
- Questo forno può essere utilizzato come forno di ricottura o di diffusione per wafer da 12" e utilizza una barca di quarzo.
- L'attuatore elettrico del coperchio consente di aprirlo facilmente e senza problemi
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Schema della struttura
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Blocchi in ceramica da 15
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Supporto per wafer da 12 |
Attuatore elettrico del coperchio |
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Zona di riscaldamento
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- Lunghezza totale della zona di riscaldamento 900 mm
- Tre zone: 300 mm + 300 mm + 300 mm ( 900 mm in totale)
- Lunghezza zona a temperatura costante: 600 mm (se tre zone hanno la stessa temperatura entro +/- 5°C)
- Sezione trasversale Tolleranza di temperatura +/- 5°C
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Temperatura di lavoro
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- Temperatura massima di riscaldamento: 1200°C
- Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 10°C/min
- Elementi riscaldanti in SiC, per un totale di 36 pezzi
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Controllo della temperatura
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Computer portatile, software (opzionale)
 
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- Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) da utilizzare immediatamente.
- Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) è disponibile per consente all'utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico e registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
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Eurotherm Controllori (opzionali)
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- Precisione della temperatura: ± 0,1ºC
- Un regolatore per zona di riscaldamento
- 1 programma di 8 o 24 segmenti per regolatore
- Relè di allarme: Forma 'A' e forma 'C' incorporati
- Comunicazioni digitali: RS485
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Tubo al quarzo con fusibile
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- Tubo al quarzo da 11" OD o 15" O.D. con lunghezza di 71" selezionabile dall'opzione del prodotto
- Tubo di quarzo ad alta purezza, fare clic sull'immagine in basso a sinistra per visualizzarla.
- Attenzione: il tubo di quarzo è fragile, si prega di maneggiarlo con cura. La garanzia non copre i tubi rotti dall'uso.
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Sigillatura sottovuoto e flangia
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Sono inclusi una coppia di flange di tenuta del vuoto in acciaio inox (tipo a cerniera) e 4 pezzi di O-ring in silicone ad alta resistenza alle temperature per raggiungere il tasso di vuoto di 10^-2 torr tramite una pompa meccanica per impieghi gravosi. Flangia laterale sinistra: valvole a spillo in acciaio inox e raccordo per tubo flessibile con attacco da 1/4". - Sulla flangia destra è presente una porta per l'accoppiamento termico da 1/4" OD per facilitare la calibrazione della temperatura.
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Opzioni
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Il forno a tubi deve essere calibrato regolarmente per mantenere la precisione e l'uniformità della temperatura. Vi forniamo un semplice kit di calibrazione per completare questo lavoro a un costo aggiuntivo. Il kit di calibrazione completo comprende
- È possibile ordinare una turbopompa per vuoto spinto fino a 10-5 torr (fare clic sull'immagine in basso a destra per ordinare).
- Barchette al quarzo da 4'' ~ 8'' di grandi dimensioni
- Su richiesta, possiamo realizzare il forno in verticale.
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Tensione nominale
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- Trifase, 208 V CA, 50/60 Hz 380V trifase è opzionale
- Max. 20KW (è necessario un interruttore da 70A)
- Cavo di alimentazione AWG 6# incluso (senza spina)
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Dimensioni del prodotto
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2000 L x 765 W x 1130 H, mm
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Peso netto
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300 kg
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Dimensioni di spedizione
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85" x 40" x 70" |
Peso di spedizione
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1200 libbre
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Garanzia
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- Garanzia limitata di un anno sulle parti elettriche. (Le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e i tubi di quarzo non sono coperti dalla garanzia).
- È possibile ordinare un tubo al quarzo di ricambio al seguente link
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| Istruzioni per il funzionamento |
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Nota
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar.
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi su una bombola di gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
- La portata dei gas deve essere limitata a meno di 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
- Per ottenere una temperatura accurata all'interno del forno a tubi, è necessaria una calibrazione della temperatura prima dell'uso.
- Come impostare un tubo di ceramica e una flangia da vuoto per un forno a tubi MTI
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