1 2
MTI  |  SKU: OTF-1100X-III-NT

Forno tubolare a 1200°C a due zone con tubo al quarzo opzionale da 11" a 15" - OTF-1100X-II-XX

€0,00

Consegna e spedizione nell'UE

Nel preventivo aggiungeremo i costi di spedizione, assicurazione e sdoganamento.

Forno tubolare a 1200°C a due zone con tubo al quarzo opzionale da 11" a 15" - OTF-1100X-II-XX

MTI

  OTF-1100X-II forno è un forno tubolare a due zone con un tubo al quarzo opzionale da 11" a 15". e flange per il vuoto. Le valvole a spillo e i manometri per il vuoto sono preinstallati per un utilizzo immediato. L'attuatore elettrico consente un'apertura del coperchio facile e senza problemi. Tre regolatori programmabili a 30 segmenti sono incorporati con una coppia termica di tipo K. Il controllo PID basato su microprocessore fornisce un controllo eccellente senza sovraelongazione e una precisione di +/- 1ºC. È stato ampiamente utilizzato per la CVD, la lavorazione di DVD per la crescita di film di materiali a due dimensioni ( TMD: strati di dicalcogenuro di metalli di transizione 2D )
SPECIFICHE


  Struttura del forno
  • Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. La temperatura superficiale dell'involucro è < 70°C.
  • Rivestimento isolante in allumina fibrosa refrattaria per il massimo risparmio energetico.
  • Elemento riscaldante: Filo di resistenza NiCrAl
  • Sono inclusi due blocchi di tubi in ceramica fibrosa per bloccare l'irraggiamento del calore dall'interno del tubo. 
  • Flangia a cerniera con acqua fredda per facilitare il caricamento dei campioni.
  • Questo forno può essere utilizzato come forno di ricottura o di diffusione per wafer da 8" (tubo da 11") o da 12" (tubo da 15"). 
  • L'attuatore elettrico del coperchio consente di aprirlo facilmente e senza problemi 
    
Schema della struttura
 Blocchi di ceramica da 11 o 15 pollici
 Supporto di un wafer da 12 Attuatore elettrico del coperchio
Zona di riscaldamento
  •  Due zone: 450 mm + 450 mm ( 900 mm in totale)
  • Lunghezza zona a temperatura costante: 500 mm (se tre zone hanno la stessa temperatura entro +/- 5°C)
  • Sezione trasversale Tolleranza di temperatura +/- 5°C
Temperatura di lavoro
  • Temperatura massima di riscaldamento: 1200°C 
  • Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 10°C/min
  • Elementi riscaldanti in SiC, per un totale di 36 pezzi 
Controllo della temperatura
 
  • Tre regolatori digitali con funzioni PID/autotuning e 30 segmenti programmabili.
  • Termocoppia: tre termocoppie di tipo K (una per ogni zona)
    Precisione di controllo: +/- 1°C
  • Il software per il controllo tramite PC è disponibile come opzione (fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare).
Controllori Eurotherm (opzionali)
  • Precisione della temperatura: ± 0,1ºC
  • 1 zona di riscaldamento per regolatore
  • 1 programma di 8 o 24 segmenti
  • Relè di allarme: Forma 'A' e forma 'C' incorporati 
  • Comunicazioni digitali: RS485 con software
Computer portatile e software (opzionale)
    
  • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato.
  • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) è disponibile per consente all'utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico e registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
Tubo di quarzo fuso
    
  • Tubo di quarzo da 11" OD o 15" O.D con lunghezza di 71" selezionabile tra le opzioni del prodotto.
  • Tubo di quarzo ad alta purezza, fare clic sull'immagine in basso a sinistra per visualizzarla.
  • Attenzione: il tubo di quarzo è fragile, si prega di maneggiarlo con cura. La garanzia non copre i tubi rotti dall'uso.
Sigillatura a vuoto e flangia
  • Sono incluse una coppia di flange di tenuta del vuoto in acciaio inox (tipo a cerniera) e 4 pezzi di O-ring in silicone ad alta resistenza termica per raggiungere il tasso di vuoto di 10^-2 torr tramite una pompa meccanica per impieghi gravosi.
  • Flangia laterale sinistra: valvole a spillo in acciaio inox e raccordo per tubo flessibile con attacco da 1/4".
  • Flangia laterale destra: Porta del vuoto KF40 con manometro. Valvola per vuoto ad angolo retto KF-40 è opzionale per facilitare il collegamento ai soffietti e alle pompe KF40.
  • Sulla flangia destra è presente una porta per l'accoppiamento termico da 1/4" OD per facilitare la calibrazione della temperatura.
Opzioni
  •                                
Tensione nominale
  • Trifase, 208 V CA, 50/60 Hz  380V trifase è opzionale
  • Cavo di alimentazione AWG 8# incluso (senza spina) 
Consumo di energia
 Max. 20KW (è necessario un interruttore da 100A)
Dimensioni del prodotto
  2000 L x 765 W x 1130 H, mm
Peso netto
 300 kg
Dimensioni di spedizione
 		85" x 40" x 70"
Peso di spedizione
 		1200 libbre
Garanzia
  • Garanzia limitata di un anno sulle parti elettriche. (Le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e i tubi di quarzo non sono coperti dalla garanzia).
  • È possibile ordinare un tubo al quarzo di ricambio al seguente link 
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o NRTLCSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
Istruzioni per il funzionamento     
Avvertenze
  • I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar 
  • Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi su una bombola di gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
  • Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
  • La portata dei gas deve essere limitata a <200 SCCM (o 200ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
Torna all'inizio