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Forno RTP compatto ad atmosfera controllata con tubo al quarzo da 4" ID fino a 1100°C - OTF-1200X-4-RTP

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Certificazione UL/CSA

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Nel preventivo aggiungeremo i costi di spedizione, assicurazione e sdoganamento.

Forno RTP compatto ad atmosfera controllata con tubo al quarzo da 4" ID fino a 1100°C - OTF-1200X-4-RTP

MTI

OTF-1200X-RTP-4 è un forno tubolare compatto per il trattamento termico rapido con un tubo di quarzo da 4" di diametro interno e flange per il vuoto. È progettato per la ricottura di wafer di semiconduttori o celle solari con diametri fino a 3". OTF-1200X-4-RTP è riscaldato da 8 unità di luce alogena da 1KW con una velocità di riscaldamento massima di 50ºC/secondo. Il regolatore di temperatura di precisione a 30 segmenti con un'accuratezza di +/-1ºC è integrato nel forno per consentire il riscaldamento, la dimora e il raffreddamento a vari livelli. La porta RS485 e il software di controllo sono inclusi per consentire il monitoraggio del profilo di temperatura tramite PC mentre il forno è in funzione. Questo forno può anche essere modificato in un forno RTE, CSS o HPCVD ( vedi nota applicativa sotto)
SPECIFICHE
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Struttura del forno
  • L'involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria mantiene la temperatura superficiale del forno inferiore a 60°C. 
  • Isolamento in allumina fibrosa di elevata purezza per il massimo risparmio energetico.
  • Coperchio diviso con Protezione interbloccointerrompe l'alimentazione se il coperchio è aperto durante il processo di riscaldamento del forno.

Ingresso di potenza

208-240 CA, 50/60 Hz monofase, 9 KW Max. (è necessario un interruttore da 60A)


Elementi di riscaldamento

  • 8 pezzi tubo luminoso alogeno da 1 kW, (Dia. =10 mm, L=300 mm, Lunghezza riscaldata =200 mm)
  • Vita lavorativa standard: 2000 ore (dipende dalla velocità di riscaldamento)
  • Il tubo alogeno è consumabile. Fare clic sull'immagine a sinistra per ordinarne uno di ricambio
        

Zona di riscaldamento

Lunghezza 12" con zona a temperatura costante di 4" con uniformità di +/-5ºC

Temperatura di lavoro

  • 1100ºC Max. per < 10 minuti
  • 1000ºC Max. per < 20 minutes (Note: if running longer time, furnace case will > 100°C, deve essere utilizzato un ventilatore per raffreddare la cassa del forno dall'esterno)
  • 800ºC Max. per < 120 minuti
  • 600 ºC Max. per Continua 

Massima Velocità di riscaldamento

50ºC/sec

Velocità di raffreddamento

  • Max. Raffreddamento: 60ºC/min (sotto vuoto: 200 m-torr), 117ºC/min (sotto pressione atmosferica) 
  • Raffreddamento minimo: 10 ºC / al minuto

Termocoppia

Tipo K, la testa della termocoppia tocca il portacampioni in nitruro di alluminio dalla parte inferiore.

Regolatore di temperatura

  • FA-YD808P-AG è incluso il regolatore di temperatura.
  • Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune
  • 30 segmenti programmati con fasi di rampa, raffreddamento e dimora
  • Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia
  • Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC
  • Porta di comunicazione PC DB9 predefinita

Controllore di temperatura (opzionale)

Provetta al quarzo e portacampioni

Flangia sotto vuoto

  • La flangia per alto vuoto KF-D25 è realizzata in acciaio inox con doppi O-ring in silicone per alte temperature, valvole a spillo e camicia di raffreddamento ad acqua.
  • Richiede il raffreddamento ad acqua solo in caso di lunghi periodi di funzionamento a temperature > 600oC.
  • Velocità di circolazione dell'acqua: 0.5 m3 /ora.
  • La flangia estraibile facilita le operazioni di carico e scarico dei campioni e altri processi specifici necessari.
  • Coppia termica inseribile per una misurazione accurata. 

Pompa per vuoto (opzionale)

Raffreddamento ad acqua (opzionale)

  • È necessario il raffreddamento ad acqua.
  • Assicurarsi che la portata dell'acqua di raffreddamento sia di ? 10L/min, temperatura dell'acqua < 25ºC; pressure > 25 PSI.
  • Si consiglia di utilizzare la serie EQ-KJ5000. a ricircolo d'acqua come sistema di raffreddamento (da ordinare separatamente nei prodotti correlati sotto) per risparmiare acqua.   
  • Attenzione: Il tempo massimo di permanenza di questo forno RTP deve essere inferiore a 600 secondi a 1000ºC ~ 1100ºC con acqua di rubinetto, altrimenti l'O-ring potrebbe fondersi. 

Misuratore di flusso

Sul pannello frontale è installato un flussometro per regolare il flusso di gas da 16 a 160 ml/min.

Vacuometro

Un vacuometro digitale con un campo di misura da 10 a 160 ml/min.-4 a 1000 Torr è installato sul forno.

Pressione del vuoto e raccordo del gas

  • La pressione può raggiungere i 50° utilizzando una pompa per vuoto meccanica con adattatore KF25.
  • La pressione può raggiungere il 10-4 torr con la pompa molecolare con adattatore KF25

Dimensioni

  •  Flangia chiusa: 1350 mm (L) x 330 mm (L) x 590 mm (H)
  •  Flangia aperta: 1350 mm (L) x 520 mm (L) x 740 mm (A)
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Peso netto

70 kg (150 libbre)

Peso e dimensioni di spedizione

  • 220 libbre
  • 47 "x39 "x40"

Garanzia

Un anno di garanzia limitata del produttore con assistenza a vita (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e le lampade alogene, non sono coperte dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).