MTI  |  SKU: OTF-1200X-S-II-PECVD

Forno rotativo PECVD 1100C con pompa a vuoto - OTF-1200X-S-II-PECVD

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Forno rotativo PECVD 1100C con pompa a vuoto - OTF-1200X-S-II-PECVD

MTI

OTF-1200X-S-II-PECVD è un 1000ºC Sistema rotante a due zone per la deposizione chimica da vapore potenziata da plasma (PE-CVD). È composto da un generatore di plasma RF (a radiofrequenza) da 300 W, da una rete di accoppiamento e da una pompa per vuoto ad alte prestazioni. Questo sistema è uno strumento eccellente per trattamento termico di polveri di composti inorganici con uniformità di rivestimento superficiale (ad esempio, preparare polveri per catodi di batterie agli ioni di litio con rivestimenti conduttivi sulla superficie del campione).).

SPECIFICHE:
Struttura del sistema

  • L'alimentatore RF integrato da 300 W (13,56 Mhz) con rete di adattamento consente l'elaborazione al plasma che riduce significativamente la temperatura di elaborazione.
  • La rotazione del tubo a ingranaggi consente un trattamento di tipo "blending" delle polveri per ottenere la migliore uniformità di lavorazione.
    Nota: il serbatoio del gas non è incluso
Forno rotante a due zone

  • Temperatura di lavoro: 1100ºC max (<1 ora), e 1000ºC per il riscaldamento continuo
  • Due regolatori di temperatura PID con 30 segmenti programmabili
  • Potenza in ingresso: 208 - 240 VCA, monofase a max. 1,5KW
  • Isolamento in fibra di allumina ad alta purezza per il massimo risparmio energetico
  • Il motore DC a ingranaggi aziona il tubo di quarzo a velocità variabile da 2 a 10 giri/min.
  • Due zone: lunghezza di ciascuna zona 4" (100 mm), zona di riscaldamento totale 8" (200 mm)
Alimentazione al plasma RF
 
 
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con una stabilità di ±5%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità
  • Potenza di riflessione: 100W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50Hz
                
Flange di tenuta
    • Standard: tubo di lavorazione al quarzo fuso con diametro di 2'', per i dettagli fare clic sull'immagine a sinistra
    • Una coppia di 1'' flangia di tenuta SS con valvole a spillo girevoli per il connettore del gas e sono inclusi per l'uso immediato

    Flange di tenuta
     
    • Su ciascuna estremità del tubo è installata una coppia di flange a sgancio rapido da 1'' O.D con attacco KF25.
    • L'accoppiamento girevole magnetico a tenuta di fluido è utilizzato per consentire la rotazione del tubo senza attorcigliare la linea di fuoco o gli attacchi a valle (come le linee di distribuzione del gas, della polvere e dell'elettricità).
                      
    Velocità di rotazione del tubo
    • 0 - 5 RPM variabile
    Pompa del vuoto e manometro
     
    • La pompa del vuoto a doppio stadio è inclusa nella vendita, fare clic sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche dettagliate.
    • Adattatore KF25 ee soffietto in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo.
    • È possibile ottenere un vuoto di 10E-2 Torr all'interno del tubo di lavorazione.
    • Nota: Vacuometro è disponibile a un costo aggiuntivo, fare clic su sottolineatura e per ordinare



    Controllo della temperatura
     
     
    • Design a due zone di riscaldamento con regolatore di temperatura individuale
    • Controllo PID preciso di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza, 30 segmenti programmabili
    • Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia
    • La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza personale di sorveglianza
    • Accuratezza della temperatura di +/- 1 ºC
    • Due termocoppie di tipo K (una per ogni zona)
    • Porta di comunicazione RS485
    • Opzionale:  
      • Il forno può essere gestito da un PC installando una modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS-02 con un costo aggiuntivo
      • Se ordinate il modulo di controllo PC insieme al forno, vi forniremo installare e testarlo prima della spedizione. Vi consigliamo di ordinare un computer portatile da noi per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni fare clic qui
      Dimensioni e peso

      • Forno: 1400 mm L x 600 mm L x 1240 mm H (con coperchio aperto)
      • Peso netto: 400 libbre
      • Peso di spedizione: 500 libbre
      Garanzia
      Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio nei prodotti correlati qui sotto).
      Alimentatore volumetrico e serbatoio di raccolta (opzionale)      foto. 1 pic.2
      • Il dosatore automatico EQ-PF-1S comprende un agitatore a motore e una tramoggia in acciaio inox con vibratore incorporato. È progettato per l'alimentazione di polveri solide in un forno per la cottura/trattamento termico continuo. Per ordinare, fare clic sull'immagine 1 a sinistra.
      • Il serbatoio di raccolta in acciaio inox (capacità 2 litri) può essere installato all'altra estremità del tubo di lavorazione per raccogliere la polvere cotta senza esposizione all'aria. Fare clic sull'immagine 2 a sinistra per visualizzare i dettagli.
      • Nota: contattateci per la personalizzazione dettagli
      Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)

      • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato
      • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente agli utenti di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
      • Un telecomando wireless offre un raggio d'azione fino a 300 metri
      • Le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo (fino a 1.000 dollari).
      • Nota: Il software è compatibile solo con il termoregolatore Yudian di MTI.
      Conformità
       
      • Certificazione CE
      • La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo
      Note applicative
      Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas

      • Attenzione