MTI  |  SKU: OTF-1200X-S-II-PEC4

Forno rotativo PE-HPCVD 1100C con evaporatore in situ, MFC a 4 canali e pompa per vuoto - OTF-1200X-S-II-PEC4

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Forno rotativo PE-HPCVD 1100C con evaporatore in situ, MFC a 4 canali e pompa per vuoto - OTF-1200X-S-II-PEC4

MTI

OTF-1200X-S-II-PEC4 è un 1200ºC Sistema rotante a due zone per la deposizione ibrida di vapore chimico-fisico (PE-HPCVD) potenziata da plasma. È composto da un generatore di plasma a radiofrequenza (RF) da 300 W e da una rete di accoppiamento, da una barca di evaporazione a monte della sorgente con alimentazione, da un'erogazione di gas MFC a quattro canali e da una pompa per vuoto ad alte prestazioni. Questo sistema completo è uno strumento eccellente per il trattamento termico di polveri di composti inorganici con una temperatura e un'uniformità di rivestimento superficiale superiori (ad esempio, preparare polveri di catodi di batterie agli ioni di litio con rivestimenti conduttivi sulla superficie del campione).
(Il numero di articolo è stato aggiornato da OTF-1200X-S-II-4CV-PE da marzo 2019)

SPECIFICHE:
Struttura del sistema
  • L'alimentatore RF integrato da 300 W (13,56 Mhz) con rete di adattamento consente l'elaborazione al plasma che riduce significativamente la temperatura di elaborazione. (Il generatore di plasma si trova sul lato destro della foto).
  • La rotazione del tubo a ingranaggi consente una lavorazione di tipo "blending" delle polveri per ottenere la migliore uniformità di lavorazione.
  • La stazione di miscelazione del gas a quattro canali con MFC fornisce un controllo preciso dell'erogazione del gas.
  • L'integrazione di Up-Stream Source Evaporation Boat con bobina di tungsteno consente di sublimare i precursori solidi per le esigenze della lavorazione ibrida fisico-chimica.
Forno rotante a due zone
  • Temperatura di lavoro: 1100ºC max (<1 ora) e 1000ºC per il riscaldamento continuo.
  • Due regolatori di temperatura PID con 30 segmenti programmabili.
  • Potenza in ingresso: 208 - 240 VCA, monofase a max. 1,5KW.
  • Isolamento in fibra di allumina ad alta purezza per il massimo risparmio energetico.
  • Il motore DC a ingranaggi aziona il tubo di quarzo a velocità variabile da 2 a 10 RPM.
  • Due zone: ogni zona è lunga 4" (100 mm), per un totale di 8" (200 mm) di zona di riscaldamento.
Alimentazione al plasma RF
 
 
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con una stabilità di ± 5%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità.
  • Potenza di riflessione: 100W max.
  • Corrispondenza: automatica.
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50Hz.
                
Barca di evaporazione 
  • Temperatura di lavoro: 1100ºC Max (<1 ora) e 1000ºC per il riscaldamento continuo. 
  • Crogiolo in allumina da 0,7 ml con bobina di riscaldamento in tungsteno circondata.
  • Termocoppia di tipo K inserita per una misurazione accurata della temperatura del materiale di partenza.
  • Corrente di lavoro: <= 30 A.
                   
Flange di tenuta
    • Standard: tubo di lavorazione al quarzo fuso da 2'' O.D, fare clic sull'immagine a sinistra per i dettagli.
    • Una coppia di 1'' flangia di tenuta SS con valvole a spillo girevoli per il connettore del gas e sono incluse per l'uso immediato.
    Flange di tenuta
      
    • Su ciascuna estremità del tubo è installata una coppia di flange a sgancio rapido da 1'' O.D. con attacco KF25.
    • Il giunto girevole magnetico a tenuta di fluido è utilizzato per consentire la rotazione del tubo senza attorcigliare la linea di fuoco o gli attacchi a valle (come le linee di erogazione del gas, della polvere e dell'elettricità).
                
    Velocità di rotazione del tubo
    • Variabile da 0 a 5 giri/min.
    Pompa del vuoto e manometro
     
    • La pompa del vuoto a doppio stadio ad alte prestazioni EQ-FYP è inclusa nella vendita; fare clic sull'immagine a sinistra per visualizzare le specifiche dettagliate.
    • Adattatore KF25 ee soffietti in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo.
    • È possibile ottenere un vuoto di 10E-2 Torr all'interno del tubo di lavorazione..
    • Nota: Vacuometro è disponibile a un costo aggiuntivo, fare clic su sottolineatura e per ordinare.


    Stazione di miscelazione gas MFC
      
    • Quattro misuratori di portata massica di precisione (accuratezza dello 0,02%) con display digitale sono installati sulla cassa inferiore per controllare automaticamente la portata del gas. 
      • MFC 1: Gamma di flusso del gas da 0 a 100 SCCM
      • MFC 2&3: Campo di controllo da 0~200 SCCM  
      • MFC 4: Campo di controllo da 0~500 SCCM
    • Raccordi di ingresso/uscita del gas: Raccordo per tubo da 6 mm O.D.
    • Alimentazione: 208-240VAC 50/60Hz
    • Valvole a spillo in acciaio inox per il controllo manuale ON/OFF dell'alimentazione del gas.
    • Il controllo touch screen del PLC di grandi dimensioni consente di impostare facilmente la portata.



    Controllo della temperatura

          
    • Design a due zone di riscaldamento con regolatore di temperatura individuale.
    • Controllo PID preciso di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza, 30 segmenti programmabili.
    • Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
    • La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza operatore.
    • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
    • Tre termocoppie di tipo K (una per ogni zona).
    • Porta di comunicazione RS485.
    • Opzionale:  
      • Il forno può essere comandato da un PC installando un modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS-02 con un costo aggiuntivo. 
      • Se ordinate il modulo di controllo PC insieme al forno, vi forniremo installare e testarlo prima della spedizione. Vi consigliamo di ordinare un computer portatile da noi per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni fare clic qui.
    Dimensioni e peso
    • Forno: 1400 mm L x 600 mm L x 1250 mm H (con coperchio aperto); Stazione di miscelazione del gas: 600 mm L x 850 mm L x 700 mm H
    • Peso netto: 400 libbre.
    • Peso di spedizione: 500 libbre.
    Garanzia
    Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
    Alimentatore volumetrico e serbatoio di raccolta (opzionale)      foto. 1 pic.2
    • Il dosatore automatico EQ-PF-1S comprende un agitatore a motore e una tramoggia in acciaio inox con vibratore incorporato. È progettato per l'alimentazione di polveri solide in un forno per la cottura/il trattamento termico in continuo. Per ordinare, fare clic sull'immagine 1 a sinistra.
    • Il serbatoio di raccolta in acciaio inox (capacità 2 litri) può essere installato all'altra estremità del tubo di lavorazione per raccogliere la polvere cotta senza esposizione all'aria. Fare clic sull'immagine 2 a sinistra per visualizzare i dettagli.
    • Nota: contattateci per la personalizzazione dettagli.
    Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)
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