Forno CVD MIST a 1200°C per la crescita di cristalli - OTF-1200X-Mist

Caratteristiche

Forno

• Il forno a tubo divisibile con  1200oC Temperatura massima di lavoro 
• Zona di riscaldamento lunga 400 mm con zona a temperatura costante lunga 125 mm.
• Regolatore di temperatura programmabile a 30 segmenti con +/- 1ºC  precisione
• Potenza: 3KW, 220VAC ( +/- 10% monofase 50/60Hz
• Fare clic sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche dettagliate
• Nota: la temperatura di lavoro può essere aumentata a 1500oC da OTF-1500X-UL

Provetta di quarzo e supporto per campioni
     

• È incluso un tubo di lavorazione al quarzo con flange di dimensioni pari a OD 60 mm x ID 54 mm x L 1000 mm.
• È incluso un portacampioni in quarzo che può contenere 4 pezzi di substrato 10x10x0,5 mm a 45 gradi.
• Fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare il ricambio

Generatore di Mis a ultrasuoni

•  Il generatore di ultrasuoni da 1,7 Mhz si trova in un serbatoio ermetico SS316. (Fare clic sull'immagine a sinistra per le specifiche)
•  4 livelli di potenza degli ultrasuoni per regolare la quantità di nebulizzazione
• Il tempo di nebulizzazione è regolabile da 30 a 180 minuti
• La pompa a siringa per liquidi è dotata di una siringa di plastica da 60 ml per l'iniezione automatica. La gamma di velocità della pompa di iniezione del liquido è compresa tra 0,004 ml/min e 70 ml/min.
• Il generatore di nebbia è collegato a un forno a tubi tramite un tubo in acciaio inossidabile da 1/4".

Sistema di erogazione del gas MFC

• La stazione di miscelazione ed erogazione del gas MFC a 4 canali è inclusa (fare clic sull'immagine a sinistra per le specifiche).
• 2 canali di gas sono riempiti nel serbatoio in acciaio inox come gas di trasporto dopo la miscelazione
• altri 2 canali di gas vengono riempiti in un forno a tubi come gas di diluizione dopo la miscelazione
• Portata MFC: 0 - 500 ml/minuto regolabile
• Accuratezza del flusso MFC: ±0,2%F.S
• Intervallo di pressione di lavoro: 0,10,5 MPa

Pompa del vuoto (opzionale)

• La porta per il vuoto KF 25 è installata sulla flangia del tubo di lavorazione con una valvola per il collegamento a una pompa per il vuoto.
• Si consiglia vivamente di utilizzare una pompa a secco per prolungare la durata di vita di Mist CVD.
• Fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare una pompa, se necessario.

Pannello di controllo

• Pannello di controllo touch screen per impostare i parametri di funzionamento, tra cui
• Programma e curva di temperatura
• Portata del gas a 4 canali
• Livello e tempo di generazione della nebbia
• La porta RS 485 e il software operativo per PC sono disponibili su richiesta.