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MTI  |  SKU: OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Forno CSS e RTP a 950°C max con supporto rotante per wafer da 12" - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

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Forno CSS e RTP a 950°C max con supporto rotante per wafer da 12" - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

MTI

OTF-1200X-RTP-II-5-R è un forno avanzato forno per l'elaborazione termica rapida (RTP), progettato per CSS (Sublimazione a distanza ravvicinata) per il rivestimento di film fino a wafer da 12" alla temperatura di esercizio di 950°C Max. Il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con una temperatura massima di 950 °C. 20ºC/s velocità di riscaldamento. Il supporto superiore del campione è ruotabile per ottenere un rivestimento uniforme. Si tratta di uno strumento eccellente per la ricerca di film sottili di nuova generazione per celle solari, come CdTe, solfuro e Perovskite, e può essere utilizzato anche per la ricottura di wafer di semiconduttori da 12 pollici.

SPECIFICHE:
Struttura del forno 
  • La camera a vuoto (20" ID) è composta da  Acciaio inossidabile per raggiungere 10-5 torr tramite turbopompa
  • Due 12"  piastre riscaldanti a infrarossi sono posizionate sulla parte superiore del fondo all'interno della camera
  • Il portacampioni superiore è ruotabile a una velocità di 1 - 10 RPM per una deposizione uniforme del film.
  • La temperatura massima di lavoro è di 950ºC e la velocità di riscaldamento può raggiungere i 1200oC/minuto.
  • Regolatore di temperatura di precisione Eurotherm con accuratezza di +/- 0,1oC
  • Controllo computerizzato touch screen per tutti i parametri di lavorazione
Potenza
  • 208 - 240VAC, tre fasi, 50/60 Hz (disponibile 380V AC 3 fasi)
  • 60 KW max. (è necessario un interruttore da 200A)
  • È incluso un cavo di alimentazione, ma non una spina
Camera a vuoto
 
  • Dimensioni della camera: ID 500 mm x H 460 mm
  • Due finestre al quarzo di 60 mm di diametro sono costruite per facilitare l'osservazione.
  •  Un deflettore scorrevole a tenuta d'aria è incorporato per bloccare la fonte di evaporazione sotto vuoto spinto.
  • Nella confezione standard è presente un vacuometro digitale di precisione anticorrosione (Fig. 1).
  • Livello di vuoto: 10-5 torr con turbopompa (Fig. 2) o 10-2 torr con pompa meccanica (Fig. 3) Fare clic su Fig.2 2 o 3 per scegliere la pompa del vuoto con un costo aggiuntivo.
  • Fig. 1  Pic. 2  Foto. 3
Riscaldatore e portacampioni
  • Due riscaldatori a infrarossi sono posizionati sulla parte superiore e inferiore della camera con spazi regolabili da 2 a 25 mm. (Fig. 1
  • I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con una camicia fredda ad acqua per mantenere l'isolamento termico.
  • Il supporto circolare per wafer da 12" di diametro è incorporato nel riscaldatore superiore per tenere il substrato.
  • Le piastre di grafite sono posizionate sulla parte superiore del riscaldatore IR per rendere il riscaldamento più uniforme (Fig. 2).
  • Il portacampioni superiore è ruotabile a una velocità regolabile da 1 a 10 giri/min.
  • Per il raffreddamento dei riscaldatori è incluso un refrigeratore d'acqua circolante da 58 l/min (Fig. 3).
  •   Fig. 1   Fig. 2Figura 3 3
Sistema di controllo
  • Due termoregolatori digitali Eurotherm 3000 con 24 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore con una precisione di +/- 0,1ºC.
  • Tutte le operazioni, come i profili di temperatura, la pressione del vuoto, la velocità di rotazione e il sollevamento della flangia, sono controllate da un computer touch screen tramite un PLC.
  • Il computer è in grado di visualizzare i profili di temperatura e di vuoto e di avviare 10 programmi di lavorazione preimpostati.


Temperatura di lavoro
  • Temperatura massima per ogni riscaldatore: 950ºC.
  • Differenza massima di temperatura tra i due riscaldatori: ? 300ºC 
  • Massimo. Riscaldamento: < 8ºC/s ( solo riscaldamento di un singolo riscaldatore )
  • Max. Raffreddamento: < 20 ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Velocità di riscaldamento e raffreddamento
  • Riscaldamento: < 8 ºC/s (solo riscaldamento singolo)
  • Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Dimensioni

(fare clic sull'immagine per vedere le dimensioni) 		 L 1450 X L 1250 X H2100 mm Peso: ~500 Kg




Opzionale
  • In caso di utilizzo di gas corrosivi, utilizzare una trappola a freddo o una pompa a secco anticorrosiva come nelle immagini 1-2 con un costo aggiuntivo.
  • È possibile scegliere un sistema digitale di erogazione del gas MFC facendo clic sulla figura 3 qui sotto. 3 qui sotto.
             Fig. 1   Fig. 2    Figura 3
Garanzia Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita (le parti consumabili, come i tubi al quarzo e le lampade riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia).
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione UL / MET / CSA è disponibile su richiesta, si applicano costi aggiuntivi.
Istruzioni per il funzionamento      
Riferimenti
(Fare clic a destra per visualizzare gli articoli correlati)
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