MTI  |  SKU: OTF-1200X-RTP-5S

Forno a tubo scorrevole a 1200°C per il trattamento termico rapido - OTF-1200X-RTP-5S

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Forno a tubo scorrevole a 1200°C per il trattamento termico rapido - OTF-1200X-RTP-5S

MTI

OTF-1200X-RTP-5S è un forno scorrevole da 5" con riscaldamento a resistenza e motore elettrico di scorrimento per un rapido riscaldamento e raffreddamento. È in grado di raggiungere una velocità massima di riscaldamento-raffreddamento 2°C/4°C al secondo e ricuoce wafer di diametro massimo di 4" fino a 1200°C. 

SPECIFICHE

Struttura del forno


  • Un involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria che assicura il guscio del forno ?60.
  • Unità di controllo della temperatura separata per il funzionamento a distanza
  • Zona di riscaldamento lunga 300 mm con zona a temperatura costante di 100 mm con +/- 3ºC
  • È installato un set di guide di scorrimento che consente al forno di spostarsi da un lato all'altro. Il funzionamento automatico a velocità variabile tramite la manopola di controllo è opzionale con un costo aggiuntivo. 
  • Le flange per il vuoto e il vuotometro digitale sono installati per l'uso immediato.
  • Tubo al quarzo: Tubo di quarzo da 5" (130 mm O.D x 120 mm I.D x 1100 mmL) è incluso con flange ermetiche
  • Ricottura di wafer fino a un diametro massimo di 4" con barca al quarzo

Potenza

  • CA 208-240V monofase, 50/60 Hz
  • 3 KW

Temperatura di lavoro

  • Massima:1200< 0,5 ore
  • Continuo: 1100 o meno

Controllo a scorrimento

  • Doppie guide di scorrimento in acciaio placcato al Cr
  • Lunghezza delle guide di scorrimento: 1200 m
  • Intervallo di scorrimento: 450 mm
  • Opzionale: Lo scorrimento automatico è azionato da un motore CC. è controllato dal regolatore di temperatura. Al termine del programma di riscaldamento, il forno scorre da destra a sinistra alla velocità impostata. Le ventole d'aria soffiano le aree riscaldate per ottenere un raffreddamento rapido.

Regolatore di temperatura


  • Due regolatori automatici PID con 30 segmenti programmabili per il controllo della velocità di riscaldamento e raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • Porta di comunicazione RS485.
  • Controllo PC:  
    • Un MTS-02 modulo di controllo è incluso per il controllo via PC di questo forno.
    • Un PC portatile può essere ordinato per 500 dollari insieme al forno. Per evitare problemi di installazione del software, consigliamo di ordinare un computer (portatile) presso di noi, che provvederemo all'installazione e al collaudo prima della spedizione. Per ulteriori informazioni fare clic qui.  

Tariffa di riscaldamento e raffreddamento

  • Velocità di riscaldamento consigliata per la protezione degli elementi riscaldanti: ? 20°C/min.
  • Il riscaldamento rapido si ottiene facendo scorrere un'area del campione preriscaldata
    • La velocità massima di riscaldamento è di circa 2ºC/S
  • Il raffreddamento rapido si ottiene facendo scorrere il forno riscaldato lontano dall'area del campione a temperatura ambiente. 
    • La velocità massima di raffreddamento è di circa 4ºC/S.

Flange per il vuoto

  • Le flange per il vuoto in acciaio inox sono installate su entrambe le estremità del tubo.
  • Flangia sinistra:
    • Un ingresso da 6,35 con un manometro.
    • Una valvola di arresto. 
    • Una porta per termocoppia blindata
  • Flangia destra:
    • Una porta KF25
    • Un'uscita gas con valvola di arresto.
    • Una porta per termocoppia blindata

Livello di vuoto

  •  Limitato da una pompa per vuoto
    • 10^-2 torr può essere raggiunto da una pompa meccanica
    • 10^-5 torr possono essere raggiunti da una pompa molecolare
  •      Il vuoto non è inclusa, si prega di ordinarla separatamente 

Dimensioni

  • 1300x 550 x 600 mm (forno chiuso)
  • 1300x 750 x 850 mm (forno aperto)
  • 350x 250 x 410 mm (scatola di controllo)

Peso netto

~ 110 Kg

Garanzia

Garanzia limitata di un anno del produttore (Le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).

Conformità

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento.

Note applicative

  • I forni a tubo con tubi di quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa 
  • Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
  •  Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C

Video dimostrativo