MTI  |  SKU: OTF-1200X-5-SL

Forno a tubo scorrevole a 1200°C (5'' OD) per RTP tramite riscaldamento a lampada IR - OTF-1200X-5-SL

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Forno a tubo scorrevole a 1200°C (5'' OD) per RTP tramite riscaldamento a lampada IR - OTF-1200X-5-SL

MTI

OTF-1200X-5-SL è un forno scorrevole da 5" con riscaldamento a resistenza e motore elettrico di scorrimento per un rapido riscaldamento e raffreddamento. È in grado di raggiungere una velocità massima di riscaldamento-raffreddamento > 10°C/s e di ricuocere wafer di diametro massimo di 4" fino a 1200oC.

SPECIFICHE

Struttura del forno


  • Un involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria che garantisce l'utilizzo del forno a 1200oC in modo continuo
  • Unità di controllo della temperatura separata per il funzionamento a distanza
  • Zona di riscaldamento lunga 300 mm con zona a temperatura costante di 100 mm con +/- 2ºC
  • È installato un set di guide di scorrimento che consente al forno di spostarsi automaticamente da un lato all'altro a velocità variabile utilizzando la manopola di controllo.
  • Le flange per il vuoto e il vuotometro digitale sono installati per l'uso immediato.
  • Tubo al quarzo: Tubo di quarzo da 5" (130 mm O.D x 120 mm I.D x 1400 mmL) è incluso con flange ermetiche
  • Ricottura di wafer fino a un diametro massimo di 4" con barca di quarzo
  • Fare clic sull'immagine sottostante per vedere le specifiche del forno

Potenza

  • AC 208-240V monofase, 50/60 Hz
  • 3,5 KW

Temperatura di lavoro

  • 1200oC Max. < 1 ora
  • 1100 oC o meno continuo

Controllo a scorrimento

  • Doppie guide di scorrimento in acciaio placcato al Cr
  • Lunghezza delle guide di scorrimento: 1200 mm
  • Scorrimento azionato da motore DC
  • Lo scorrimento automatico è controllato dal termoregolatore. Al termine del programma di riscaldamento, il forno scorre da destra a sinistra alla velocità impostata. Le ventole d'aria soffiano le aree riscaldate per ottenere un raffreddamento rapido.
    • Campo di scorrimento: 340 mm
    • Velocità di scorrimento: 0-70 mm/s; regolabilee

Regolatore di temperatura


  • Due regolatori automatici PID con 30 segmenti programmabili per il controllo della velocità di riscaldamento e raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
  • Sono incluse due coppie termiche: una per il controllo della temperatura del forno e una per la registrazione della velocità di riscaldamento e raffreddamento.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • Porta di comunicazione RS485.
  • Controllo PC:  
    • Un MTS-02 modulo di controllo è incluso per il controllo via PC di questo forno.
    • Un PC portatile può essere ordinato per 500 dollari insieme al forno. Per evitare problemi di installazione del software, consigliamo di ordinare un computer (portatile) presso di noi, che provvederemo all'installazione e al collaudo prima della spedizione. Per ulteriori informazioni fare clic qui.  

Tariffa di riscaldamento e raffreddamento

  • Il riscaldamento rapido si ottiene facendo scorrere un'area preriscaldata sul campione
    • La velocità massima di riscaldamento è di circa 10ºC/S
  • Il raffreddamento rapido si ottiene facendo scorrere il forno riscaldato lontano dall'area del campione e raffreddando con una ventola d'aria.
    • La velocità massima di raffreddamento è di circa 10ºC/S
  • Una coppia termica viene inserita nell'area del campione e registra le curve di riscaldamento e raffreddamento tramite software.

Flange per il vuoto

  • Le flange per il vuoto in acciaio inox sono installate su entrambe le estremità del tubo.
  • Flangia destra:
    • Flangia a cerniera per facilitare il caricamento del campione.
    • Passaggio da 1/4" di diametro per l'inserimento della coppia termica di tipo K
    • Valvola a spillo con raccordo per gas incorporato
  • Flangia sinistra:
    • Il vuotometro digitale è incluso
    • La valvola ad angolo retto KF25 è installata per il collegamento a una pompa per vuoto
    • È inclusa una valvola a spillo per il rilascio del vuoto

Livello del vuoto

  •  Limitato da una pompa del vuoto
    • 10^-2 torr possono essere raggiunti dalla pompa meccanica
    • 10^-4 torr possono essere raggiunti dalla pompa molecolare
  •      Il vuoto non è inclusa, si prega di ordinarla separatamente 
Misuratore di flusso
 Un misuratore di portata è incorporato con un range: 16-160 ml/min

Dimensioni

  • 460 x 330 x 520 mm (solo forno)

  • 1800 x 450 x 680 mm ( forno + scorrevole)
  • (cliccare per ingrandire l'immagine)

Peso netto

~ 80 Kg

Dimensione del pacchetto di spedizione

74" x 39" x 45"

Peso di spedizione

300 libbre

Garanzia

Garanzia limitata di un anno del produttore (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti da garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).

Conformità

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento.

Note applicative

  • I forni a tubo con tubi di quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa 
  • Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
  •  Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C

Video sul funzionamento