MTI | SKU: OTF1200XSDFSL50

Forno a doppio tubo scorrevole da 1200 C max con flange per tubi da 50 mm per TCVD - OTF-1200X-S-50-DFSL

Name: Forno a doppio tubo scorrevole da 1200 C max con flange per tubi da 50 mm per TCVD - OTF-1200X-S-50-DFSL
Brand: MTI
SKU: OTF1200XSDFSL50
Availability: InStock

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Forno a doppio tubo scorrevole da 1200 C max con flange per tubi da 50 mm per TCVD - OTF-1200X-S-50-DFSL

MTI

OTF-1200X-S-50-DFSL è un forno a doppio scorrimento su rotaia. È uno strumento per la CVD termica wcon tubo e flange in quarzo da 2" ODx55" L e max. 1200°C raggiungibile temperatura di lavoro. Due forni a tubo da 2" possono essere fatti scorrere sulla guida di scorrimento per trovare le posizioni per l'evaporazione/sublimazione termica dei materiali di partenza e la deposizione di film. Facendo scorrere il forno da un lato all'altro si possono raggiungere velocità massime di riscaldamento e raffreddamento fino a 100°C/min. Lo scorrimento motorizzato opzionale, l'erogazione di gas MFC e il generatore di plasma RF sono disponibili per realizzare facilmente un sistema TCVD flessibile a basso costo.

SPECIFICHE

Struttura del forno

Entrambi i forni sono costituiti da strutture in acciaio a doppio strato con 1200°C max. temperatura di lavoro
Ogni forno ha una zona di riscaldamento di 200 mm e una zona a temperatura costante di 60 mm di lunghezza
Sul fondo del forno è installata una coppia di binari scorrevoli, che consente al forno di essere manualmente di spostare manualmente il forno da un lato all'altro con una distanza massima di scorrimento di 400 mm.
Le flange per il vuoto sono installate per l'uso immediato.

Potenza del forno

AC 208-240V monofase, 50/60 Hz, è richiesto un interruttore da 20 A
2,5 KW in totale

Temperatura massima Temperatura

1200°C (<1 ora)

Temperatura continua

1100°C

Velocità di riscaldamento e raffreddamento

Tariffa di riscaldamento:

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0,5°C/sec (800°C - 1000°C);

Velocità di raffreddamento:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1,5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0,5°C/sec (400°C - 300°C);

Nota:
La velocità massima di riscaldamento e raffreddamento si ottiene preriscaldando un lato del tubo di lavorazione alla temperatura desiderata e facendo poi scorrere il forno sull'altro lato. È possibile scegliere di posizionare o meno il campione nell'area di preriscaldamento.

Lunghezza della zona di riscaldamento

200 mm (~8") per ogni forno

Zona a temperatura costante

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

Elementi di riscaldamento

Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo

Dimensioni del tubo di lavorazione

Tubo di quarzo fuso di elevata purezza

Dimensione: 50 mm O.D x 44 mm I.D x1500 mm Lunghezza
Opzionale: Il tubo S310 in lega ad alta temperatura è disponibile per pressioni più elevate (100 PSI) con un costo aggiuntivo.

Regolatore di temperatura

Due forni sono dotati di controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di sosta.
L'allarme e la protezione da sovratemperatura incorporati consentono il funzionamento senza operatore.
TSono incluse due coppie termiche di tipo K.
Opzionale:

Il forno può essere comandato da un PC installando un modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS-02 con un costo aggiuntivo.
Si consiglia di ordinare un computer (portatile) da noi per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni fare clic qui

Precisione della temperatura

+/ - 1°C

Flange per il vuoto

Le flange per il vuoto in acciaio inox con manometro (fare clic sull'immagine in basso a sinistra per vedere i dettagli) sono installate su entrambe le estremità del tubo con un supporto per impieghi gravosi. (Fig. 1
La flangia opzionale con porta per il vuoto KF25 e vacuometro digitale è disponibile a un costo aggiuntivo. (fare clic sull'immagine 2) e la flangia per l'acqua fredda (immagine 3).
Fig. 1 Fig. 2 Figura 3 3

Binari scorrevoli / Tavolo

Doppio binario di scorrimento in acciaio cromato
Lunghezza di scorrimento: 1200 mm
Sono inclusi due morsetti di arresto dello scorrimento per mantenere la posizione dei forni.

Livello di vuoto

Limitato dalla pompa (la pompa non è inclusa, fare clic sulle immagini per ordinare).

10E-5 torr possono essere raggiunti tramite pompa molecolare
10E-2 torr può essere raggiunto tramite una pompa meccanica.

Opzionale per l'aggiornamento

Lo scorrimento motorizzato è disponibile su richiesta (fare clic sull'immagine in basso a sinistra) (Fig. 1).
Sono disponibili modelli di miscelazione e mandata del gas a 1-9 canali (fare clic sull'immagine 2 per ordinare).
Su richiesta è disponibile un generatore di plasma RF da 100W - 500W per la lavorazione al plasma potenziata (fare clic sull'immagine 3 per vedere i dettagli). Questo modulo consente di costruire il proprio sistema CVD termico potenziato al plasma (figura 4).
Potrebbe essere necessaria una trappola fredda per condensare il gas di scarico (figura 5).