MTI  |  SKU: OTF1200XSDFPESL

Forno a doppio tubo scorrevole 1200C con 2 tubi e flange per PECVD - OTF1200XSDFPESL

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Forno a doppio tubo scorrevole 1200C con 2 tubi e flange per PECVD - OTF1200XSDFPESL

MTI

OTF1200XSDFPESL è un doppio scorrevole PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposidi vapore chimico) tube furnace sistema. È uno strumento per PECVD wcon tubo e flange in quarzo da 2" ODx55" L e un'apertura massima di 1200°C raggiungibile temperatura di lavoro. Due forni a tubo da 2" possono essere fatti scorrere sulla guida di scorrimento per trovare le posizioni per l'evaporazione/sublimazione termica dei materiali di partenza e la deposizione di film. Facendo scorrere il forno da un lato all'altro si possono raggiungere velocità massime di riscaldamento e raffreddamento fino a 100°C/min. 

SPECIFICHE

Struttura del forno
  • Entrambi i forni sono costituiti da strutture in acciaio a doppio strato con 1200°C max. temperatura di lavoro.
  • Ogni forno ha una zona di riscaldamento di 200 mm e una zona a temperatura costante di 60 mm.
  • Sul fondo del forno è installata una coppia di binari scorrevoli, che consentono al forno di essere manualmente di spostare manualmente il forno da un lato all'altro con una distanza massima di scorrimento di 400 mm.
  • Le flange per il vuoto sono installate per l'uso immediato.

Potenza del forno
  •  AC 208-240V monofase, 50/60 Hz, è richiesto un interruttore da 20 A
  •  2,5 KW in totale

Temperatura massima Temperatura

  • 1200°C (<1 ora)

Temperatura continua

  • 1100°C

Velocità di riscaldamento e raffreddamento


  Tariffa di riscaldamento:
 15°C/sec (RT - 150°C);
 10°C/sec (150°C - 250°C);
  7°C/sec (250°C - 350°C);
  4°C/sec (350°C - 500°C);
  3°C/sec (350°C - 550°C);
  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
 0,5°C/sec (800°C - 1000°C);
Velocità di raffreddamento:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1,5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0,5°C/sec (400°C - 300°C);
Nota:
La velocità massima di riscaldamento e raffreddamento si ottiene preriscaldando un lato del tubo di lavorazione alla temperatura desiderata e facendo poi scorrere il forno sull'altro lato. È possibile scegliere di posizionare o meno il campione nell'area di preriscaldamento.

Lunghezza della zona di riscaldamento

  • 200 mm (~8") per ogni forno

Zona a temperatura costante
  • 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

Generatore di plasma RF
  • Potenza di uscita:  5 -300W regolabile con una stabilità di ± 1%
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità
  • Potenza di riflessione: 200W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB. 
  • Alimentazione: 208-240VAC, 50/60Hz
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.

Dimensioni del tubo di lavorazione
  • Tubo di quarzo fuso di elevata purezza
  • Dimensione: 50 mm O.D x 44 mm I.D x1500 mm Lunghezza 
  • Opzionale: Il tubo S310 in lega ad alta temperatura è disponibile per pressioni più elevate (100 PSI) con un costo aggiuntivo.

Regolatore di temperatura
 
 
  • Due forni sono dotati di controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • L'allarme di sovratemperatura e la protezione incorporati consentono il funzionamento senza operatore.
  • TSono incluse due coppie termiche di tipo K
  • Precisione della temperatura +/ - 1°C
  • Opzionale:  
    • Il forno può essere comandato da un PC installando un modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS-01 con un costo aggiuntivo. 
    • Si consiglia di ordinare un computer (portatile) da noi per evitare problemi di installazione del software.

 Flange a vuoto
  • Sono disponibili a pagamento la flangia opzionale con porta per il vuoto KF25 e il vacuometro digitale (Fig. 1) e la flangia per l'acqua fredda (Fig. 2).
  •   Fig. 1 Fig. 2
 Binari scorrevoli / Tavolo
  • Doppio binario di scorrimento in acciaio placcato al Cr
  • Lunghezza di scorrimento: 1200 mm
  • Sono inclusi due morsetti di arresto dello scorrimento per mantenere la posizione dei forni.

Opzionale
  • Lo scorrimento motorizzato è disponibile su richiesta (Fig. 1).
  • Sono disponibili modelli di miscelazione ed erogazione del gas a 1-9 canali (Fig. 2)
  • Refrigeratore d'acqua per per le apparecchiature di laboratorio che necessitano di raffreddamento ad acqua. (Fig.3)
  • Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio per ottenere un livello di vuoto elevato (Fig. 4).
              Fig. 1    Fig. 2     Figura 3 3  Figura 4 4 

 Dimensioni
             
             780 mm (L) x 600 mm (L) x 710 mm (H)

Garanzia
  • Garanzia limitata di un anno del produttore (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti da garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).

Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo ($3500,00 solo per il forno).
  • Il generatore di plasma è SOLO CE

Note applicative

Clicca qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas
  • I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione <  0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
  • Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare sull'installazione di un regolatore di gas.
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