Film di nitruro di boro su wafer di silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm
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Film di nitruro di boro su wafer di silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm
MTI
Film di nitruro di boro
Il nitruro di boro è un composto chimico con formula chimica BN, costituito da un numero uguale di atomi di boro e azoto. Il film di BN è amorfo La sua durezza è inferiore solo a quella del diamante, ma la sua stabilità termica e chimica è superiore. La deposizione a bassa pressione di film sottili di nitruro di boro è cresciuta su wafer di Si (100) per questo prodotto mediante sputtering
- Pellicola BN rivestita con metodo sputtering
- La struttura amorfa (senza orientamento)
- Dielettrico
- BN Spessore: 24 nm +/- 10%
- Purezza: > 99.99%
Specifiche del wafer di silicio:
- Tipo conduttivo: Si tipo n
- Resistività: 0,1-1,0 ohm-cm
- Dimensioni: 4" di diametro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm (spessore)
- Orientamento: (100) +/- 0,5o
- Lucidatura: Lucidato su un lato
- Rugosità della superficie: Prime
- Imballaggio: Imballato sottovuoto in una scatola di supporto per wafer singoli da 4 pollici
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