MTI  |  SKU: EQ-Slide-300

Dispositivo di scorrimento lineare automatico e a tenuta di vuoto per forni tubolari - EQ-Slide-300

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Dispositivo di scorrimento lineare automatico e a tenuta di vuoto per forni tubolari - EQ-Slide-300

MTI

  Caratteristiche
  
  EQ-Slide-300 è un modulo di scorrimento automatico sigillato sotto vuoto, progettato per collegare un tubo di lavorazione da 80 mm OD per spostare un campione dentro e fuori sotto vuoto o in atmosfera controllata.
  Può convertire un forno a tubi in un forno RTP per il riscaldamento rapido e il raffreddamento rapido in atmosfera controllata, o in un forno orizzontale per la crescita di cristalli per materiali 2D a basso costo.
 Meccanismo di movimento
  • La vite di precisione è azionata da un motore a corrente continua a due stadi di velocità attraverso un soffietto scalabile sigillato sotto vuoto.
    • Velocità veloce: 300 mm / minuto (velocità costante)
    • Velocità lenta: 0,5 mm - 30 mm / minuto (regolabile)
  • Distanza di spostamento: 1 - 300 mm Max programmabile sul pannello di controllo
  • Il meccanismo di movimentazione è installato sul tavolo mobile con dimensioni 600x600 x 600 
Flangia del tubo

  • Un set di flange a tenuta di vuoto da 80 mm OD con porta per il vuoto KF25 e valvola di ingresso del gas è incluso per collegare il soffietto scalabile e il tubo di lavorazione con porta KF 25.
  • Le flange opzionali da 25 mm, 60 mm e 100 mm di diametro esterno sono disponibili su richiesta.
  • Livello di vuoto: 10-5 torr tramite turbopompa
Supporto del campione

  • Un'asta in acciaio inossidabile con il blocco termico fibroso è installata al centro del soffietto mobile
  • Un portacampioni in quarzo da 50x50 mm è inserito nell'asta per trasportare il campione per il trattamento CVD o di ricottura.
  • Un tavolo regolabile in altezza nella parte inferiore del meccanismo mobile per facilitare l'allineamento.
  • Una coppia termica di tipo K è posizionata sotto il portacampioni tramite un'asta centrale per monitorare la temperatura.
Pannello di controllo 
  • Il pannello touch screen a colori da 7" con la scatola di controllo si trova sul carrello mobile.
  • Programmazione di tutti i parametri di movimento e registrazione/visualizzazione della temperatura del campione ordinato.
Dimensioni
Funzionamento Video     
    
Nota Questo dispositivo è compatibile solo con i forni a tubo MTI, come indicato nel link sottostante.