Struttura del forno
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- Il forno, i due regolatori di temperatura e i flussimetri per gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio.
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La camera è costituita da un tubo di quarzo fuso di elevata purezza con dimensioni di 11" OD/10,8" ID x 9" H.
- Le flange del vuoto sono in acciaio inox 316 e vengono sollevate da un motore elettrico.
- Due 5 "x5" Le piastre riscaldanti IR e la distanza sono regolabili.
- Il portacampioni superiore è ruotabile a una velocità di 0-7 giri/min.
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- La flangia superiore con una porta per il vuoto KFD-25 e un'uscita per il gas (è necessario un tubo da 1/4") può scorrere verso l'alto o verso il basso manualmente per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato.
- La flangia inferiore ha una porta per il vuoto KFD-25 e un ingresso per il gas (è necessario un tubo da 1/4") con valvole a spillo.
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La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere una pressione massima del vuoto di 10E-2 Torr grazie a un sistema di qualità. meccanica di qualità e di 10E-5 Torr con una pompa molecolare (la pompa del vuoto non è inclusa, da ordinare separatamente).
- Sulla flangia superiore è installato un vuotometro digitale.
- Il vacuometro digitale di precisione anticorrosione è contenuto nella confezione standard.(Dal 2016.03.24).
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Riscaldatore e portacampioni
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- Due riscaldatori controllati in modo indipendente con un manualmente regolabile da 2 a 30 mm.
- 20 pezzi Le lampade alogene sono utilizzate come elemento riscaldante per una rapida lavorazione termica.
- I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con una camicia fredda ad acqua per ridurre l'irraggiamento di calore e sono in grado di raffreddarsi rapidamente.
- Il supporto circolare per wafer da 5" di diametro è incorporato nel riscaldatore superiore per tenere il substrato.
- È incluso un set di piastre AlN ad alta conducibilità termica (diametro 5" x spessore 0,5 mm) (da posizionare sul retro del substrato per riscaldarlo uniformemente).
- È incluso un refrigeratore d'acqua circolante da 58 l/min per risparmiare acqua (fare clic sull'immagine sottostante per vedere le specifiche dettagliate).
- Il portacampioni superiore è ruotabile a una velocità regolabile di 0-7 giri/min.
   
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Regolatore di temperatura
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- Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore.
- Ciascun regolatore è dotato di una funzione di autotune PID per proteggere i riscaldatori dall'eccesso di temperatura e di una funzione di allarme per evitare che il surriscaldamento danneggi le coppie termiche.
- L'interfaccia di comunicazione per PC e il software sono installati per (fare clic sull'immagine sottostante per i dettagli) registrare il profilo di temperatura mostrato di seguito.
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Temperatura di lavoro
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- La temperatura massima per ciascun riscaldatore è di 800ºC.
- La differenza massima di temperatura tra i due riscaldatori: ? 300ºC dipende dalla distanza tra i due riscaldatori:
- Distanza 30 mm Differenza massima di temperatura: 315ºC solo per la parte inferiore del riscaldamento
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| Velocità di riscaldamento e raffreddamento |
- Riscaldamento: < 8ºC/s ( solo riscaldamento singolo )
- Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
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| Coppia termica |
Due coppie termiche di tipo K sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore. |
| Tensione di lavoro |
208 - 240 VCA, monofase, interruttore automatico da 50 A |
| Requisiti di potenza |
10 KW totali |
Dimensioni
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 (clicca sulla foto per vedere le dimensioni) |
Peso e dimensioni di spedizione
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Due pallet: 525 libbre e 48" x 40" x 87" e 165 libbre con dimensioni 39x31x29".
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Opzionale
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- È necessaria una pompa per il vuoto. Ordinarla separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra. Il livello di vuoto può raggiungere ? 10E-2 torr con una pompa meccanica.
- Se si utilizza un gas corrosivo, utilizzare una trappola a freddo o una pompa a secco anticorrosiva come nelle immagini 2-3, con un costo aggiuntivo.
- È possibile scegliere un sistema digitale di erogazione del gas MFC facendo clic sulla prima immagine a destra.
   
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| Garanzia |
Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita (le parti consumabili come i tubi al quarzo e le lampade di riscaldamento non sono coperte dalla garanzia). |
| Conformità |
- Certificazione CE
- La certificazione UL / MET / CSA è disponibile su richiesta, si applicano costi aggiuntivi.
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| Istruzioni per il funzionamento |
 
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Note applicative e avvertenze
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa. Le pressioni sotto vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
- Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
- Il supporto per i piedi di questo forno è progettato solo per il trasporto a breve distanza su una superficie uniforme (senza buche o dossi).
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Riferimenti
(Fare clic a destra per vedere gli articoli correlati)
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