8'' Dia. Soffione a spillo per depositi CVD - EQ-SH-8

Questa è una testa di doccia con perno di diametro 8'' per l'erogazione uniforme di gas per la deposizione ALD o CVS. È uno strumento necessario per lo sviluppo di film CVD su wafer fino a 4'' di diametro.

Specifiche tecniche:

Materiali del corpo	Flangia superiore: Acciaio inossidabile (SS304) Piastra inferiore di protezione: Alluminio 3003 O-Ring: Silicone
Tubo di alimentazione del gas	9,5 mm O.D x 6 mm I.D
Dimensione del foro del perno	1,0 mm Dia.
Soffione	Design speciale per garantire una distribuzione uniforme di gas/vapore
Dimensioni	Spessore del soffione: 25 mm Altezza totale con tubo di alimentazione del gas: 195 mm
Garanzia	Garanzia limitata di 1 anno con assistenza a vita
Peso	4 libbre