MTI  |  SKU: SH4

4'' Dia. Soffione a spillo per il fai da te di ALD/CVD - EQ-SH-4

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4'' Dia. Soffione a spillo per il fai da te di ALD/CVD - EQ-SH-4

MTI

Questa è una testa di doccia a perno del diametro di 4'' per l'erogazione uniforme di gas per il fai-da-te di ALD o CVS. È uno strumento necessario per lo sviluppo di film CVD su wafer fino a 4'' di diametro.

Specifiche tecniche:




Materiale: SS 304 per la flangia superiore e alluminio per il soffione inferiore
Oring: Silicone 
Tubo di alimentazione del gas: 14 mm O.D x 6,35 mm I.D 
Dimensione del foro del perno


0,8 mm Dia.
Doccia

Design speciale per garantire una distribuzione uniforme di gas e vaporizzatore 
Dimensioni
(Clicca sull'immagine a destra per i dettagli)


Garanzia Garanzia limitata di 1 anno con assistenza a vita
Peso 2 libbre