1200C max. Forno tubolare PECVD con 4 canali di erogazione del gas e pompa del vuoto - OTF-1200X-PEC4LV

• Lavorazione a temperatura più bassa rispetto alla CVD convenzionale.
• Lo stress del film può essere controllato con tecniche di miscelazione ad alta/bassa frequenza.
• Controllo della stechiometria attraverso le condizioni di processo.
• Offre un'ampia gamma di depositi di materiali, tra cui SiOx, SiNx, SiOxNy e SiNy. Deposizione di silicio amorfo (a-Si:H).

Specifiche tecniche

Forno a tubo diviso	1200oC Temperatura massima di lavoro per < 60 minuti 1100oC Max per riscaldamento continuo Regolatore di temperatura digitale di precisione programmabile a 30 segmenti 440 mm di lunghezza zona di riscaldamento singola e 150 mm di lunghezza zona a temperatura costante Tubo di quarzo ad alta purezza opzionale ( cliccare sulla barra degli optional per scegliere ) Una coppia di flange a tenuta di vuoto con valvole 2" OD x 1,7" ID x 48" Lunghezza  3,14" OD x 2,83" ID x 48" Lunghezza Potenza in ingresso: 208 - 240 V CA, monofase a max. 4KW Forno split a due zone -OTF1200X-II è opzionale con sovrapprezzo
Alimentazione al plasma RF	Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con stabilità di ±1%. Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità Potere di riflessione: 200W max. Corrispondenza: automatica Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina Rumore: <50 dB.  Raffreddamento: Raffreddamento ad aria. Alimentazione: 208-240VAC, 50/60Hz Nota: questo alimentatore RF può accettare tubi al quarzo da 50-80 mm max. cambiando la flangia.
Manometro anticorrosione	3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas  Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo Elemento sensore plug & play facile da sostituire Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate
Pompa del vuoto e valvola	Pompa per vuoto rotativa a palette per impieghi gravosi (7,8 CFM -240 L/m) con sistema di scarico a due stadi installato nella cassa inferiore con pressione massima di vuoto 10-2 torr.  L'adattatore KFD25 e il tubo in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con una valvola a sfera di precisione.  Il manometro digitale per il vuoto e il display sono installati con il forno.
Pompa Oilless opzionale	Si prega di ordinare la pompa oilless per ottenere una contaminazione zero:
Flussimetro di massa       EQ-GSL-LCD	Miscelazione di gas a 4 canali Valvola in acciaio inox 316 Serbatoio di miscelazione del gas: ?80X120mm   600 mm (L) x 745 mm (L) x 700 mm (H) Pannello di controllo touch screen a colori da 6" per facilitare l'impostazione dei parametri. Controllo touchscreen e telecomando PC commutabili. 23W per canale  AC 220V/50Hz Monofase
Regolatore di temperatura	Certificato MET 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza. Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta. La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza personale di assistenza. Precisione della temperatura di +/- 1 ºC. Porta di comunicazione RS485. Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i controllori della serie YD518P) + pacchetto laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Fare clic per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y.  È possibile aggiornare il termoregolatore alla versione Controllore Eurotherm 3000 con una precisione di +/-0,1 C.
Opzionale	Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD Fare clic sull'immagine in basso a destra per ordinare il modulo di controllo della temperatura costante                                clicca qui per scegliere un crogiolo
Dimensioni complessive	Forno: 550 mm (L) x 380 mm (L) x 520 mm (H)  3 Fondo Mobile insieme: 1800mm(L) x 850mm(L) x 700mm(H)
Garanzia	Un anno di garanzia limitata con supporto per il tempo di sollevamento (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi di riscaldamento non sono coperti dalla garanzia, si prega di ordinare la sostituzione ai prodotti correlati qui sotto).
Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)	Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato. Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente agli utenti di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.