Struttura del forno
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Coperchio diviso con Protezione interblocco, interrompe l'alimentazione se la porta si apre durante il processo di riscaldamento del forno.
- Per maggiori dettagli, fare clic sull'immagine sottostante:
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| Tensione nominale |
Monofase, 220V AC, 50/60 Hz, AWG 8# Il cavo di alimentazione è incluso (senza spina) |
| Consumo di energia |
Max. 3600 W (è necessario un interruttore da 20 A) |
Zona di riscaldamento |
- Zona di riscaldamento Lunghezza: 440 mm
- Zona a temperatura costante: 100 mm
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Temperatura di lavoro
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- Temperatura massima di riscaldamento: 1200°C ( < 30 minuti )
- Temperatura di lavoro continua: 200~1100°C
- Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 20°C/min
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Controllo della temperatura
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- Regolatore digitale con funzione PID/autotuning e 30 segmenti programmabili
Termocoppia: Termocoppia di tipo K, inserita dalla flangia laterale destra e collegata al termoregolatore. Precisione di controllo: +/- 1°C - Il software per il controllo del forno da parte del PC è disponibile come opzione (fare clic sull'immagine sottostante per ordinare).
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Vuoto e guarnizione a gas e flangia
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Flangia destra:
- Struttura di raffreddamento ad acqua con connettore rapido da 12 mm per evitare che l'o-ring di tenuta si sciolga (il raffreddatore ad acqua non è incluso, fare clic su refrigeratore d'acqua per ordinare)
- Raccordo per il vuoto KF25 (per la pompa del vuoto, fare clic per ordinarlo). pompa, tubo per il vuoto, valvola e guarnizione di tenuta)
- Scorrevole per spingere/estrarre il campione in modo facile e veloce
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Un supporto per wafer di quarzo (diametro massimo 3") è incorporato nella flangia con un blocco di radiazioni di riscaldamento per la crescita CVD su un materiale sottile. substrato
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Un anti-corrosivi a diaframma capacitivo è incluso
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Flangia sinistra con quattro raccordi Swagelok da 1/8'' per tubo gas da 1/8'':
- Due raccordi separati da 1/8'' sulla flangia per l'ingresso del gas nel forno CVD
- e il passaggio personalizzato è disponibile su richiesta.
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Peso netto
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100 kg
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Dimensioni
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- Standard: 48 "L X 18 "L X 23 "H
- Massimo: 66 "L X 18 "L X 32 "H (coperchio aperto e flangia destra estratta)
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Garanzia
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- Garanzia limitata di un anno per le parti elettriche. (Le parti di consumo, quali tubi di lavorazione, O-ring, ecc. non sono coperte da garanzia).
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È possibile ordinare un tubo di quarzo di ricambio qui: EQ-QZTube-RTP
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Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)
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- Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita)
- Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente agli utenti di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
- Il telecomando wireless offre un raggio d'azione fino a 300 metri.
- Le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta con un costo aggiuntivo (fino a 1.000 dollari). Contattateci per ulteriori informazioni.
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Nota: Il software è compatibile solo con il termoregolatore Yudian di MTI.
 
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| Conformità |
- Certificazione CE
- Le certificazioni NRTL, CSA o TUV sono disponibili su richiesta con un costo aggiuntivo.
 
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Avvertenze
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- I forni tubolari con tubo di quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione <0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa
- Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per sapere come installare il regolatore del gas..
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
- Ta portata dei gas deve essere limitata a<200 SCCM (o 200ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo
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Istruzioni per il funzionamento
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