MTI  |  SKU: VBF1200XH8

1100°C Max 8OD7.6 LV Forno a camera stagna con flangia passante-VBF-1200X-H8

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1100°C Max 8OD7.6 LV Forno a camera stagna con flangia passante-VBF-1200X-H8

MTI

VBF-1200X-H8 è un forno a vuoto compatto. È dotato di una camera a tubi di quarzo da 7,5" ID x 13,4" L posizionata orizzontalmente. Le flange per il vuoto in acciaio inox raffreddate ad acqua e dotate di valvole sono installate per ottenere un vuoto fino a 10-5 Torr tramite turbopompa. È progettata per la calcinazione o la ricottura di wafer di semiconduttori (fino a 6") sotto vuoto o in varie atmosfere gassose con una temperatura fino a 1100°C. Può essere utilizzato anche come forno per la brasatura sotto vuoto.
SPECIFICHE

Potenza

  • Tensione: Monofase 208 - 240 VAC / 50/60Hz, (interruttore da 20 A installato)
  • 3 KW max. 
  • Nota Il cavo di alimentazione è incluso, ma senza la spina. Si prega di installare una spina per conto proprio o di fare clic sul link sotto l'immagine per scegliere una spina in base alle esigenze del proprio paese o del proprio laboratorio.


Temperatura di lavoro

  • <= 1000 °C in continuo

  • Max. 1100 °C, < 30 minuti
  • Uniformità di temperatura: +/- 2°C
  • Nota: <= 1150 °C in continuo è disponibile su richiesta da parte di Tubo di quarzo di grado GE214 con un costo aggiuntivo

Velocità di riscaldamento

  • Max. 20°C/ min
  • Consigliato. 10°C/ min

Elementi di riscaldamento

  • Filo di resistenza Ni-Cr-Al di alta qualità 

Tubo al quarzo e Riscaldamento efficace

  • Dimensioni del tubo: 8" O.D. x 7,5" I.D. x 13,4" L.

  • Zona di riscaldamento (all'interno del tubo di quarzo): 7,5" ID x 8,5" Profondità (7,6L)

  • Zona a temperatura uniforme: 6" di diametro x 3,5" di profondità in posizione centrale entro +/- 5ºC

  • Il tubo di quarzo è sostituibile (fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare il tubo di ricambio).


Flangia per il vuoto



Nota: la porta della flangia standard è stata aggiornata al tipo passante il 15 febbraio 2016.


  • Gruppo flangia raffreddato ad acqua in acciaio inox con due porte a connessione rapida. Tutte le guarnizioni sono costituite da o-ring in silicone. 
  • Le porte di connessione rapida sono multifunzionali grazie a tubi di allumina alesati da 1/4" OD.
    • Ingresso/uscita del gas vicino alla superficie del campione. (Fig. A, B, C)
    • Passaggio per termocoppia (Fig. A, B, C, D); Opzionale Tipo K 1/4 "ODx18" L 
    • Passaggio elettrico. es. Misure di resistenza di quattro sonde (Fig. D)
  • Viene fornito un blocco refrattario in schiuma di Al2O3 alesato (190Dia * 50mm). (Fig. F)
  • Termocoppia o passante elettrico in allumina (O.D 6,35 mm, I.D 4,0 mm, L 300 mm) è disponibile su richiesta (da aprile 2016)
  • Vacuometro meccanico (incluso come accessorio standard), che da -0,1 a 0,15 Mpa.
Fig. A  Fg. B  Fig. C  Fig. C  Fig. F
Ingresso e uscita del gas e raffreddamento ad acqua
  • Un ingresso per lo spurgo del gas (adattatore per tubo flessibile da 1/4") con valvola si trova sul lato sinistro del forno. 
  • Il gas inerte può essere introdotto nella camera attraverso l'ingresso per scopi di spurgo. 
  • Se è necessario un flusso continuo di gas, consultare la sezione aggiuntivo ingresso gas e sonda a termocoppia sotto.
  • All'interno della flangia è stata costruita una camicia di raffreddamento ad acqua per proteggere gli O-tings di tenuta del vuoto. Le porte di ingresso e di uscita situate sul lato sinistro del forno vengono utilizzate per il collegamento a un refrigeratore d'acqua attraverso due tubi in poliuretano da 12 mm di diametro (è richiesta una portata d'acqua di 16L/minuto). Fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare il refrigeratore d'acqua..
  • Per temperature di riscaldamento superiori a 500°C è necessario un refrigeratore d'acqua (è necessario inserire un blocco termico).
Regolatore di temperatura

  • È incluso un regolatore di temperatura digitale certificato NRTL.
  • Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune
  • 30 segmenti programmati con fasi di rampa, raffreddamento e dimora
  • Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia
  • Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC
  • La porta di comunicazione PC DB9 di default è inclusa per il collegamento a un PC
  • Termoregolatore Eurothermer è disponibile a un costo aggiuntivo con +/-0,1°C. 
Opzioni


  • Manometro digitale (opzionale) Un vuotometro digitale indipendente dal gas (sopra i 10 mbar) con un'ampia gamma di valori compresi tra 3,8x10-5 a 1125 Torr. (Fare clic sulla figura 1 per ordinare)
  • È possibile scegliere un miscelatore di gas per l'erogazione di più gas con controllo della composizione e della portata del gas (fare clic sulle immagini sottostanti per ordinare separatamente).
    Fig. 1Pannello frontale della nuova versioneFoto. 2
Opzioni
  • Il portacampioni non è incluso nel forno. Per ordinarlo, consultare la Fig. 1 per ordinarlo 
  • È possibile ordinare una barca per wafer di quarzo per la ricottura di wafer fino a 6" (Fig. 2).
  • Il blocco termico al quarzo opzionale è disponibile su richiesta come blocco refrattario, che può aiutare a raggiungere un livello di vuoto più elevato e ad evitare potenziali problemi di contaminazione. Blocco termico al quarzo.
  • A Tubo di allumina a 4 fori da 1/4 può essere utilizzato per inserire 4 fili (ad esempio fili di Pt) attraverso i fori per misurare le proprietà elettriche ad alta temperatura con un costo aggiuntivo.

                                                     
portacampioni  Barca di quarzo per wafer Blocco termico al quarzo  Passaggio a 4 fili 



Pressione del vuoto





  • Il livello di vuoto dipende dalla pompa del vuoto utilizzata, dal tubo collegato, dai materiali del blocco refrattario interno, ecc. Utilizzando il KFD25, il tubo in acciaio inox, la pompa meccanica a due stadi di MTI e la valvola a sfera KF25, il forno può raggiungere livelli di vuoto inferiori:
    • 10-2 torr tramite pompa meccanica entro 30 minuti
    • 10-4 torr tramite turbopompa entro 30 minuti con il quarzo Blocco termico a 900C
  • Opzionale: 
    • La pompa del vuoto e il tubo non sono inclusi; per ordinare, cliccare sull'immagine sottostante.
    • Per ottenere un livello di vuoto più elevato, un è necessaria una turbopompa. 
    • L'O-ring di tenuta di ricambio è disponibile a un costo aggiuntivo (fare clic sulla seconda immagine a sinistra).
    • Valvola KF25 ad angolo retto per il collegamento rapido ai soffietti KF25 (fare clic sull'immagine 3 qui sotto).

Conformità

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
  • Numero Patten: ZL-2011-2-0102249.4 DAL  2011-5-19

Avviso  


Clicca qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas


  • I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar 
  • Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Fare clic qui per conoscere l'installazione di un regolatore di gas. 
  • Non riscaldare mai il forno mentre la valvola di rilascio del gas è chiusa quando esiste una condizione di pressione positiva all'interno della camera del forno. 
  • La temperatura massima di 1000°C è limitata a tutti i forni a tubo di quarzo sotto vuoto. 1000°C è limitato a tutti i forni a tubo di quarzo sotto vuoto per evitare la deformazione del tubo di quarzo.
  • La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock termici.