Potenza
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- Tensione: Monofase 208 - 240 VAC / 50/60Hz, (interruttore da 20 A installato)
- 3 KW max.
- Nota Il cavo di alimentazione è incluso, ma senza la spina. Si prega di installare una spina per conto proprio o di fare clic sul link sotto l'immagine per scegliere una spina in base alle esigenze del proprio paese o del proprio laboratorio.
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Temperatura di lavoro
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<= 1000 °C in continuo
- Max. 1100 °C, < 30 minuti
- Uniformità di temperatura: +/- 2°C
- Nota: <= 1150 °C in continuo è disponibile su richiesta da parte di Tubo di quarzo di grado GE214 con un costo aggiuntivo
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Velocità di riscaldamento
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- Max. 20°C/ min
- Consigliato. 10°C/ min
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Elementi di riscaldamento
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- Filo di resistenza Ni-Cr-Al di alta qualità
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Tubo al quarzo e Riscaldamento efficace  
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Dimensioni del tubo: 8" O.D. x 7,5" I.D. x 13,4" L.
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Zona di riscaldamento (all'interno del tubo di quarzo): 7,5" ID x 8,5" Profondità (7,6L)
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Zona a temperatura uniforme: 6" di diametro x 3,5" di profondità in posizione centrale entro +/- 5ºC
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Il tubo di quarzo è sostituibile (fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare il tubo di ricambio).
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Flangia per il vuoto
Nota: la porta della flangia standard è stata aggiornata al tipo passante il 15 febbraio 2016.
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- Gruppo flangia raffreddato ad acqua in acciaio inox con due porte a connessione rapida. Tutte le guarnizioni sono costituite da o-ring in silicone.
- Le porte di connessione rapida sono multifunzionali grazie a tubi di allumina alesati da 1/4" OD.
- Ingresso/uscita del gas vicino alla superficie del campione. (Fig. A, B, C)
- Passaggio per termocoppia (Fig. A, B, C, D); Opzionale Tipo K 1/4 "ODx18" L
- Passaggio elettrico. es. Misure di resistenza di quattro sonde (Fig. D)
- Viene fornito un blocco refrattario in schiuma di Al2O3 alesato (190Dia * 50mm). (Fig. F)
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Termocoppia o passante elettrico in allumina (O.D 6,35 mm, I.D 4,0 mm, L 300 mm) è disponibile su richiesta (da aprile 2016)
- Vacuometro meccanico (incluso come accessorio standard), che da -0,1 a 0,15 Mpa.
Fig. A Fg. B Fig. C Fig. C Fig. F |
Ingresso e uscita del gas e raffreddamento ad acqua
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- Un ingresso per lo spurgo del gas (adattatore per tubo flessibile da 1/4") con valvola si trova sul lato sinistro del forno.
- Il gas inerte può essere introdotto nella camera attraverso l'ingresso per scopi di spurgo.
- Se è necessario un flusso continuo di gas, consultare la sezione aggiuntivo ingresso gas e sonda a termocoppia sotto.
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All'interno della flangia è stata costruita una camicia di raffreddamento ad acqua per proteggere gli O-tings di tenuta del vuoto. Le porte di ingresso e di uscita situate sul lato sinistro del forno vengono utilizzate per il collegamento a un refrigeratore d'acqua attraverso due tubi in poliuretano da 12 mm di diametro (è richiesta una portata d'acqua di 16L/minuto). Fare clic sull'immagine a sinistra per ordinare il refrigeratore d'acqua..
- Per temperature di riscaldamento superiori a 500°C è necessario un refrigeratore d'acqua (è necessario inserire un blocco termico).
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Regolatore di temperatura
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- È incluso un regolatore di temperatura digitale certificato NRTL.
- Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune
- 30 segmenti programmati con fasi di rampa, raffreddamento e dimora
- Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia
- Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC
- La porta di comunicazione PC DB9 di default è inclusa per il collegamento a un PC
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Termoregolatore Eurothermer è disponibile a un costo aggiuntivo con +/-0,1°C.
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Opzioni
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Manometro digitale (opzionale) Un vuotometro digitale indipendente dal gas (sopra i 10 mbar) con un'ampia gamma di valori compresi tra 3,8x10-5 a 1125 Torr. (Fare clic sulla figura 1 per ordinare)
- È possibile scegliere un miscelatore di gas per l'erogazione di più gas con controllo della composizione e della portata del gas (fare clic sulle immagini sottostanti per ordinare separatamente).
 Fig. 1 Foto. 2
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Opzioni |
- Il portacampioni non è incluso nel forno. Per ordinarlo, consultare la Fig. 1 per ordinarlo
- È possibile ordinare una barca per wafer di quarzo per la ricottura di wafer fino a 6" (Fig. 2).
- Il blocco termico al quarzo opzionale è disponibile su richiesta come blocco refrattario, che può aiutare a raggiungere un livello di vuoto più elevato e ad evitare potenziali problemi di contaminazione. Blocco termico al quarzo.
- A Tubo di allumina a 4 fori da 1/4 può essere utilizzato per inserire 4 fili (ad esempio fili di Pt) attraverso i fori per misurare le proprietà elettriche ad alta temperatura con un costo aggiuntivo.
portacampioni Barca di quarzo per wafer Blocco termico al quarzo Passaggio a 4 fili
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Pressione del vuoto
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- Il livello di vuoto dipende dalla pompa del vuoto utilizzata, dal tubo collegato, dai materiali del blocco refrattario interno, ecc. Utilizzando il KFD25, il tubo in acciaio inox, la pompa meccanica a due stadi di MTI e la valvola a sfera KF25, il forno può raggiungere livelli di vuoto inferiori:
- 10-2 torr tramite pompa meccanica entro 30 minuti
- 10-4 torr tramite turbopompa entro 30 minuti con il quarzo Blocco termico a 900C
- Opzionale:
- La pompa del vuoto e il tubo non sono inclusi; per ordinare, cliccare sull'immagine sottostante.
- Per ottenere un livello di vuoto più elevato, un è necessaria una turbopompa.
- L'O-ring di tenuta di ricambio è disponibile a un costo aggiuntivo (fare clic sulla seconda immagine a sinistra).
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Valvola KF25 ad angolo retto per il collegamento rapido ai soffietti KF25 (fare clic sull'immagine 3 qui sotto).
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Conformità

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- Certificazione CE
- La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
- Numero Patten: ZL-2011-2-0102249.4 DAL 2011-5-19
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Avviso
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Fare clic qui per conoscere l'installazione di un regolatore di gas.
- Non riscaldare mai il forno mentre la valvola di rilascio del gas è chiusa quando esiste una condizione di pressione positiva all'interno della camera del forno.
- La temperatura massima di 1000°C è limitata a tutti i forni a tubo di quarzo sotto vuoto. 1000°C è limitato a tutti i forni a tubo di quarzo sotto vuoto per evitare la deformazione del tubo di quarzo.
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La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock termici.
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