MTI  |  SKU: OTF1200XSFB110

Forno CVD a letto fluido (FBCVD) con tubo al quarzo da 1" di diametro e flangia per CVD di polveri - OTF-1200X-S-FB

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Forno CVD a letto fluido (FBCVD) con tubo al quarzo da 1" di diametro e flangia per CVD di polveri - OTF-1200X-S-FB

MTI

OTF-1200X-S-FB è un forno verticale a letto fluido UL/CSA pronto per il passaggio con tubo al quarzo da 1'' di diametro (area centrale allargata da 2'' di diametro) per applicazioni CVD (FBCVD) di polveri.. È costituito da una camera di riscaldamento cilindrica posizionata verticalmente che circonda il tubo di quarzo con un filtro incorporato proprio nella sezione centrale inferiore della zona di riscaldamento centrale. Il filtro è una fritta di quarzo porosa (15~40 micron) che consente il passaggio del flusso di gas controllato e fa galleggiare le particelle su un cuscino del flusso di gas dove avviene l'interazione tra i materiali solidi e gassosi.
 
SPECIFICHE:
Zona fluidificata



  • Fornisce una distribuzione uniforme dell'esplosione di gas sull'intera sezione trasversale della camera del tubo
  • Le particelle solide sono sospese da un gas che scorre verso l'alto
  • Eccellente trasferimento di calore e rivestimento di ogni singola particella sospesa 
  • I materiali lavorati possono essere scaricati dal lato superiore del tubo dopo aver tolto il cappuccio

Nota: il gas viene fatto passare verso l'alto attraverso il letto fluido a una velocità sufficientemente elevata da sollevare le particelle. Tuttavia, se la velocità è troppo elevata, le particelle possono essere spazzate via completamente dalla camera del tubo. A seconda delle dimensioni delle particelle, è possibile regolare la pressione e la portata del gas fino a quando le particelle vengono sollevate e si muovono in modo turbolento all'interno del tubo.

Fritta di quarzo

  • Le fritte con design a convezione forzata possono intrappolare le particelle all'interno dell'area di riscaldamento centrale.
  • Fritte: 15~40 micron porosi, 22 mm di diametro esterno x 4 mm di spessore
             
Tubo opzionale


  • È possibile considerare il tubo in acciaio inox ad alta temperatura SS310 per la lavorazione di materiali ad alta pressione.
  • Temperatura massima di lavoro 800ºC
  • Pressione massima 3 bar (valvola di sovrapressione incorporata, ripristinabile automaticamente e riutilizzabile). Pressione 3 bar (valvola di sovrapressione incorporata, ripristinabile automaticamente e riutilizzabile)
  • Il sistema di erogazione ALD può essere aggiunto al forno superiore per la verniciatura a polvere
Involucro del forno
  • Struttura in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria
  • Design a porte divise per facilitare l'installazione del tubo
  • Isolamento in fibra di Al2O3 ad alta purezza progettato per il massimo risparmio energetico

Potenza

1200W

Tensione

CA 110V o 220V monofase, 50/60 Hz

Temperatura massima Temperatura di esercizio

1100oC

Temperatura continua

1000oC

Max. Velocità di riscaldamento

<= 20 oC /min

Dimensioni e materiali del tubo
  

  • È incluso un tubo di quarzo. Tubo principale con fritta inferiore e spazio allargato per la lavorazione delle particelle.
  • Due estremità: 25ODx 22 ID (mm); Centrale: 50O.D. x 44 I.D. (mm), fare clic sull'immagine a sinistra per i dettagli
  • L'area centrale allargata garantisce elevate prestazioni aerodinamiche
          

Flange di tenuta

  • Flangia inferiore: Flangia inferiore da 1'' di forma regolare con raccordo per tubo da 1/4'' per l'introduzione del gas primario. 
  • Flangia superiore: Flangia superiore da 1'' dal design speciale con ingresso e scarico del gas secondario (precursore) in backstreaming; per maggiori dettagli, fare clic sull'immagine a sinistra.


Opzioni

  • È disponibile un sistema di miscelazione dei gas opzionale per il processo CVD o ALD. 
  • Monitoraggio dell'ossigeno: Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD, per prevenire o ridurre l'ossidazione. Fare clic sull'immagine sottostante per saperne di più
  • L'atomizzatore a ultrasuoni può essere integrato nel sistema per erogare gocce di dimensioni inferiori al micron nella zona calda Per maggiori informazioni, fare clic sull'immagine in basso a destra.
  • Alimentatore di materiale opzionale per il funzionamento continuo. 
            

Lunghezza della zona di riscaldamento

200mm (zona singola)

Zona a riscaldamento costante 60mm (+/-2oC)

Regolatore di temperatura

  • 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza.
  • Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta.
  • La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza personale.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • Il termoregolatore di precisione Eurotherm 3000 è opzionale con una precisione di +/- 0,1 ºC.
Elementi di riscaldamento
Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
Porte di raccordo
I raccordi a tubo da 1/4'' sono stati installati su entrambi i lati della flangia fper il collegamento standard al fornitore di gas

Dimensioni

340mm×300mm×1000mm (L x L x H)

Peso netto

~20 Kg (escluso carrello mobile)

Dimensioni di spedizione

48" x 40" 35" (L x P x A)

Peso di spedizione