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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5 mm, un lato lucidato, film AlN: 1000nm - FmAlNonALc50D05C1FT1000US

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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5 mm, un lato lucidato, film AlN: 1000nm - FmAlNonALc50D05C1FT1000US

MTI

Il Template AlN su zaffiro è realizzato da una metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC).  Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.

Specifiche tecniche

  • Dimensioni 2" rotonde
  • Orientamento del film sottile AlN: (0001)
  • Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (0001) +/- 1,0 deg.
    Tipo e drogaggio del film di AlN Non drogato, semi-isolante
  • Densità dei macrodifetti: <=5 cm-2
  • Front Surface Finish (Al Face):  As-grown
  • Back Surface Finish Sapphire as-received finish
  •  Useable Surface Area >90% 
  •  Area di esclusione dei bordi 1 mm
  •   Pacchetto Contenitore per singolo wafer
  • AlSpessore strato N 1000 nm +/- 5%
  • Lucidatura: Lucidato su un lato

 

 

 

 Dati relativi
Per i dati sulla rugosità superficiale e sulla XRD, fare clic qui.

 

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