MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-50-PEC4SL

1200C max. Forno PECVD a doppia zona scorrevole con erogazione del gas e pompa del vuoto - OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

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1200C max. Forno PECVD a doppia zona scorrevole con erogazione del gas e pompa del vuoto - OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

MTI

OTF-1200X-II-PEC4SL è un sistema di forni PE-CVD a tubi scorrevoli a più zone, composto da una sorgente di plasma RF da 300 W, con tubi di dimensioni opzionali e una guida scorrevole integrata, un misuratore di portata massica di precisione a 4 canali con serbatoio di miscelazione del gas e una pompa del vuoto oil-less di alta qualità. Questo forno PE-CVD è un nuovo strumento per la crescita di nanofili o grafene con i seguenti vantaggi: - un'elevata qualità del prodotto.enefici:
  • Lavorazione a temperatura più bassa rispetto alla CVD convenzionale
  • Elevata velocità di riscaldamento e raffreddamento grazie a un forno scorrevole
  • Ogni zona di riscaldamento crea un gradiente termico fino a 200ºC
  • 1100ºC Temperatura massima di lavoro
  • Offre un'ampia gamma di depositi di materiali, come nanofili (o tubi) di carbonio e ZnO e grafene a strato singolo.
SPECIFICHE
Modello
  OTF-1200X-II-50-PEC4SL OTF-1200X-II-80-PEC4SL OTF-1200X-III-5-PEC4SL
Dimensione del tubo
(Selezionare nella barra delle opzioni)
 2" (50 mm) OD x 1,7" ID x 71" Lunghezza 3,14" (80 mm) OD x2,83" ID x71'' L 
 5" (130 mm) OD x 4,8" ID x 79'' Lunghezza
Fornace
 OTF-1200X-II-50 OTF-1200X-II-80 OTF-1200X-III-S-130



Caratteristiche
  • Due regolatori di temperatura di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Due zone di riscaldamento controllate separatamente: 
  • 200 mm di lunghezza per ogni zona di riscaldamento
  • 400 mm di lunghezza totale per il riscaldamento
  • 250 mm costante area di riscaldamento a temperatura costante se entrambe le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura
  • Due regolatori di temperatura di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Due zone di riscaldamento controllate separatamente: 
  • 200 mm di lunghezza per ogni zona di riscaldamento
  • 400 mm di lunghezza totale per il riscaldamento
  • 250 mm di area di riscaldamento a temperatura costante se entrambe le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura
  • Tre regolatori di temperatura di precisione programmabili con 30 segmenti.
  • Tre zone di riscaldamento controllate separatamente: 
  • 200 mm di lunghezza per ogni zona di riscaldamento
  • 600 mm di lunghezza totale per il riscaldamento
  • 480 mm di area di riscaldamento a temperatura costante se tutte le zone fossero riscaldate alla stessa temperatura


Strutture del forno
  • Forno a tubo diviso con guida scorrevole
  • Max 1100ºC per riscaldamento continuo
  • Regolatori di temperatura digitali di precisione multiprogrammabili con 30 segmenti.
  • Potenza in ingresso: 208 - 240 V CA, monofase a max. 4KW

Alimentazione al plasma RF
 
  • Potenza di uscita: 5 -300W regolabile con stabilità di ± 1%.
  • Frequenza RF: 13,56 MHz ±0,005% di stabilità.
  • Potenza di riflessione: 200W max.
  • Corrispondenza: automatica
  • Porta di uscita RF: 50 ?, tipo N, femmina
  • Rumore: <50 dB.
  • Raffreddamento: Raffreddamento ad aria.
  • Alimentazione: 208-240VAC, monofase, 50/60Hz

Manometro anticorrosione
  • 3.8x10-5 a 1125 Torr campo di misura
  • Anti-corrosione, indipendente dal tipo di gas 
  • Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per un rilevamento affidabile della pressione atmosferica
  • Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo di processo
  • Elemento sensore plug & play facile da sostituire
  • Fare clic sull'immagine per visualizzare le specifiche dettagliate.
Stazione della pompa del vuoto e valvole
  • Pompa per vuoto rotativa a palette per impieghi gravosi (7,8 CFM, 240 L/m) con sistema di scarico a due stadi installato nella cassa inferiore
  • L'adattatore KF25 e il tubo in acciaio inox sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con una valvola a sfera per il plug and play del cliente
  • 10E-2 Torr è possibile ottenere il vuoto all'interno del tubo di lavorazione     
 



Flussimetri di massa e stazione di miscelazione dei gas
  • È installato in un carrello mobile per impieghi gravosi, dove il forno a tubi può essere posizionato sulla parte superiore. Il touch screen LCD è integrato per fornire un facile controllo della portata di gas di ciascun canale indipendente.
  • Temperatura di lavoro: 5~45 ºC
    • Pressione max. Pressione: 3x106 Pa
    • Precisione: ±1,5% FS
    • Liner: ±0,5-1,5%F.S.
    • Precisione dei duplicati: ±0,2%F.S.
    • Campo di controllo:
      • Controllore 1: 0~100 SCCM
      • Controllore 2: 1~199 SCCM
      • Controllore 3: 1~199 SCCM
      • Controllore 4: 1~499 SCCM
  • Fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per il modulo di controllo a pressione costante CVD
              



Tassi di riscaldamento e raffreddamento
  • La porta RS485 e il software sono installati e consentono il controllo remoto del profilo di temperatura tramite PC (non incluso, il cliente può ordinarne uno da qui )
  • Per ottenere la massima velocità di riscaldamento, l'utente deve preriscaldare il forno alla temperatura desiderata, quindi far scorrere il forno nella zona del campione della provetta.
  • Per ottenere la massima velocità di raffreddamento, spostare il forno riscaldato dalla zona calda alla zona fredda.
Velocità di riscaldamento: 
15°C/sec (RT - 150°C);
10°C/sec (150°C - 250°C);
7°C/sec (250°C - 350°C);
4°C/sec (350°C - 500°C);
3°C/sec (350°C - 550°C);
2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0,5°C/sec (800°C - 1000°C);
Velocità di raffreddamento:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1,5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0,5°C/sec (400°C - 300°C);
 
Dimensioni complessive
      2000 mm L X 800 mm L X 1500 mm H
Peso e dimensioni di spedizione
Peso di spedizione: 1500 libbre
Totale 4 pallet: (1) 
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